Jauge d'épaisseur de membrane jauge d'épaisseur

Jauge d'épaisseur de membrane jauge d'épaisseur

Jauge d'épaisseur de membrane jauge d'épaisseur

Gamme de mesure de film extra - long à film épais, analyse spectrale UV ~ NIR mesure de film optique haute performance à bas prix par spectroscopie à réflectivité absolue analyse de l'épaisseur du film héritage complet de 90% des fonctions de la machine Fe - 3000 sans réglage compliqué, opération simple,

Longueur spéciale

● soutenir toutes sortes d'épaisseurs de film du film mince au film épais

● analyse de l'épaisseur du film à l'aide de la spectroscopie de réflexion

● réaliser des mesures de haute précision sans contact et sans destruction, tout en étant de petite taille et à faible prix

● réglage simple des conditions et opération de mesure! N'importe qui peut facilement mesurer l'épaisseur du film

● par la méthode des pics et des vallées, la méthode d'analyse de fréquence, la méthode des moindres carrés non linéaires, la méthode d'optimisation, etc., de nombreuses mesures d'épaisseur de film peuvent être effectuées.

● L'algorithme d'analyse d'épaisseur de film mince par la méthode des moindres carrés non linéaires peut effectuer une analyse de constante optique (n: indice de réfraction, K: compte d'extinction).

Projet de mesure

Mesure de réflectivité absolue

Analyse de l'épaisseur du film (10 couches)

Analyse des constantes optiques (n: indice de réfraction, K: compte d'extinction)

Objets de mesure

Film fonctionnel, plastique
FILM CONDUCTEUR TRANSPARENT (Ito, Nanofils d'argent), film déphasé, film polarisant, film ar, PET、PEN、TAC、PP、PC、PE、PVA、 Adhésifs, adhésifs, films de protection, revêtements durs, anti - empreintes digitales, etc.

semi-conducteur
Semi - conducteurs composés, Si、 Film d'oxyde, film de nitruration, Resist、SiC、GaAs、GaN、InP、InGaAs、SOI、 Saphir, etc.

Traitement de surface
Revêtement DLC, antirouille, antibuée, etc.

Matériaux optiques
Filtres, membranes perméables, etc.

FPD
LCD (cf, Ito, LC, PI), OLED (film organique, matériau d'encapsulation), etc.

autre
HDD、 Bandes magnétiques, matériaux de construction, etc.

Principe de mesure

Otsuka Electronics utilise des interféromètres optiques et son propre spectrophotomètre de haute précision pour réaliser des mesures d'épaisseur de film sans contact, sans perte, à grande vitesse et de haute précision. L'interférométrie optique est une méthode de détermination de l'épaisseur d'un film optique utilisant la réflectivité obtenue par le système optique d'un spectrophotomètre, comme illustré sur la figure 2. En prenant l'exemple d'un film mince appliqué sur un substrat métallique, la lumière incidente au - dessus de l'échantillon cible est réfléchie par la surface du film mince (R1), comme représenté sur la figure 1. De plus, la lumière traversant le film mince est réfléchie au niveau du substrat (métal) et de l'interface du film mince (R2). La méthode de mesure des phénomènes d'interférence optique causés à ce moment par le déphasage dû à la différence de trajet optique et de calcul de l'épaisseur du film à partir du spectre de réflexion et de l'indice de réfraction résultant est appelée interférométrie optique. Il existe quatre méthodes d'analyse: la méthode pic - Vallée, la méthode d'analyse fréquentielle, la méthode des moindres carrés non linéaires et la méthode d'optimisation.

spécification