Faisceau ionique focalisé et microscope électronique à balayage – FIB - SEM

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Vue d'ensemble

Zeiss Crossbeam combine les puissantes performances d'imagerie et d'analyse des cartouches de microscope électronique à balayage à émission de champ (Fe - SEM) avec les excellentes capacités d'usinage de la nouvelle génération de faisceaux d'ions focalisés (FIB). Que ce soit pour la découpe, l'imagerie ou l'analyse 3D, la gamme Crossbeam améliore considérablement votre expérience d'application.

Détails du produit

Conçu pour les débits élevés3DAnalyse et préparation des échantillons sur mesureFIB-SEMZeiss Crossbeam combine les puissantes performances d'imagerie et d'analyse des cartouches de microscope électronique à balayage à émission de champ (Fe - SEM) avec les excellentes capacités d'usinage de la nouvelle génération de faisceaux d'ions focalisés (FIB). Que ce soit pour la découpe, l'imagerie ou l'analyse 3D, la gamme Crossbeam améliore considérablement votre expérience d'application. Avec Gemini Electronic Optics, vous pouvez obtenir des informations réelles sur l'échantillon à partir d'images de microscope électronique à balayage (MEB). Le cylindre ion sculptor FIB introduit une toute nouvelle méthode d'usinage FIB capable de réduire les dommages aux échantillons et d'améliorer la qualité des échantillons, accélérant ainsi le processus expérimental.

Que ce soit pour des instituts de recherche scientifique ou des laboratoires industriels, des laboratoires mono - utilisateurs ou des plates - formes expérimentales Multi - utilisateurs, si vous souhaitez obtenir des résultats expérimentaux de haute qualité et à fort impact, la conception de plate - forme modulaire de Zeiss Crossbeam vous permet de mettre à niveau votre système d'instrumentation à tout moment en fonction de l'évolution de vos besoins.

Paramètres techniques :

	Le Zeiss Crossbeam 350	Le Zeiss Crossbeam 550
Microscope électronique à balayage (SEM)	Tambour miroir Gemini I	Tambour miroir Gemini II
	Options de pression d'air variable	Facultatif tandem decel
	Flux de faisceau d'électrons: 5 pa – 100 na	Flux de faisceau d'électrons: 10 Pa – 100 na
Faisceau d'ions focalisé (FIB)	Résolution: 3 nm @ 30 kV (méthode statistique)	Résolution: 3 nm @ 30 kV (méthode statistique)
Faisceau d'ions focalisé (FIB)	Résolution: 120 nm @ 1 kV & 10 Pa (en option)	Résolution: 120 nm @ 1 kV et 10 Pa
Le détecteur	Inlens se, inlens ESB, vpse (détecteur d'électrons secondaires à pression variable), SESI (détecteur d'ions secondaires à électrons secondaires), astem (détecteur d'électrons à transmission à balayage), absd (détecteur de rétrodiffusion)	Inlens se, inlens ESB, ETD (détecteur Everhard thornley), SESI (détecteur d'ions secondaires à électrons secondaires), astem (détecteur d'électrons à transmission par balayage), absd (détecteur de rétrodiffusion) et cl (détecteur de fluorescence cathodique)
Spécifications et ports du bac à échantillons	Bac à échantillons standard avec 18 interfaces configurables	Bac à échantillons standard avec 18 interfaces configurables / Bac à échantillons volumineux avec 22 interfaces configurables
Table de chargement	X /Y = 100 mm	X/Y = 100 mm / X/Y = 153 mm
	Z = 50 mm, Z' = 13 mm	Z = 50 mm, Z' = 13 mm / Z = 50 mm, Z' = 20 mm
	T = - 4° à 70°, r = 360°	T = - 4° à 70°, r = 360° / t = - 15° à 70°, r = 360°
Contrôle de charge	Pistolet à flux de faisceau électronique	Pistolet à flux de faisceau électronique
	Neutralisateur de charge local	Neutralisateur de charge local
	Pression variable	-
Gaz	Système d'injection de gaz à canal unique: PT, C, SiOx, W, H2O	Système d'injection de gaz à canal unique: PT, C, SiOx, W, H2O
Gaz	Systèmes d'injection de gaz multicanaux: PT, C, W, au, H2O, SiOx, xef2	Systèmes d'injection de gaz multicanaux: PT, C, W, au, H2O, SiOx, xef2
Résolution de stockage	32 K × 24 K (jusqu'à 50 K × 40 K avec le module de tomographie 3D Atlas 5 en option)	32 K × 24 K (jusqu'à 50 K × 40 K avec le module de tomographie 3D Atlas 5 en option)
Accessoires analytiques optionnels	EDS、EBSD、WDS、SIMS， Autres options disponibles si nécessaire	EDS、EBSD、WDS、SIMS， Autres options disponibles si nécessaire
Avantages	Grâce au mode de pression variable et à une vaste gamme d'expériences in situ, la compatibilité des échantillons peut être considérablement élargie.	Analyse et imagerie à haut débit et haute résolution dans toutes les conditions.

聚焦离子束和扫描电子显微镜 – FIB-SEM

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