Machine de revêtement rotative armoire complète

▍ profil du produit

SCP-8CMachine de revêtement rotative armoire complèteConçu pour la phase pilote et les applications de R & D de haute précision, il prend en charge le traitement des plaquettes jusqu'à 8 pouces, la structure est entièrement en acier inoxydable avec une conception intégrée de type cabinet, intégrant des modules fonctionnels tels que la peinture par rotation, la pulvérisation de colle, l'élimination de la colle latérale (EBR), le nettoyage de la colle de fond (BSR). Le système est équipé d'un servomoteur AC, d'une cavité interne en PTFE, d'une structure de ventouse anti - fuite et d'un dispositif de purification d'air FFU pour optimiser la stabilité, l'uniformité et la répétabilité du processus de collage. Convient pour les semi - conducteurs, l'optoélectronique, le micro et Nano - usinage et d'autres scénarios d'application où les exigences de conformité du revêtement sont élevées.

▍Caractéristiques techniques

1. Plate - forme de spin Coating de haute stabilité: entraînement par servomoteur, plage de vitesse de rotation 20 ~ 5000 tr / min, précision ± 1 tr / min, prend en charge l'accélération jusqu'à 10 000 tr / MIN / s, s'adapte à tous les types de processus de collage.

2. Plusieurs substrats compatibles:Livré en standard avec des ventouses de 8 pouces et 6 pouces, il prend en charge le traitement de plaquettes Multi - spécifications et s'adapte à différents scénarios expérimentaux / pilotes.

3. Système de pulvérisation de précision:Intégration de trois modules de pulvérisation de colle (Photoresist, EBR, BSR), réglage Programmable de la position et de la vitesse du bras oscillant, amélioration de l'utilisation de la colle et cohérence des bords.

4. Système de contrôle intelligent:Grâce à l'interface PLC Control + Touch, il prend en charge jusqu'à 50 groupes de recettes, jusqu'à 20 étapes par groupe, pour répondre aux paramètres de processus complexes.

5. Excellente uniformité du film de revêtement:Uniformité ≤ ± 2%, assurer la cohérence de l'épaisseur du film, améliorer le processus de lithographie et de gravure ultérieur.

6. Sécurité et propreté et:Avec la protection contre les infiltrations sous vide du disque de roulement, le système de filtration du liquide photorésistif et le système intégré de purification de l'air FFU, il garantit la sécurité du processus et un environnement propre.

▍Paramètres techniques

▍Applications typiques

SCP-8CMachine de revêtement rotative armoire complèteIl convient à tous les types d'applications de R & D et pilotes avec des exigences strictes en matière d'épaisseur et d'uniformité de revêtement, largement utilisé dans le traitement par rotation de colle photolithographique dans le processus de voie frontale semi - conductrice, le revêtement de matériaux photosensibles dans les dispositifs optoélectroniques et MEMS, l'électronique flexible et Le traitement de film mince / épais dans des boîtiers avancés, ainsi que la fabrication de micro et Nanostructures,PrécisionLe développement de matériaux et d'autres scénarios de recherche scientifique fournissent un support de revêtement stable et fiable pour le processus de fabrication de précision.