Machine de dégraissage entièrement automatique

NégociableMise à jour sur02/09

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Vue d'ensemble

Présentation du produit: $n1 nom de l'appareil: dégraisseuse sèche entièrement automatique $N2 modèle de l'appareil: cgst3100 $N3 principe de l'appareil: ICP $n4 taille de la plaquette Wafer taille: 8 inch (compatible avec 4 ou 6 inch) $N5 matériau de la plaquette Wafer: base si (si d'autres matériaux doivent être écrits)

Détails du produit

Machine de dégraissage entièrement automatiqueIntroduction du produit:

1 nom de l'appareil: machine de gommage à sec entièrement automatique

2 Modèle d'appareil: cgst3100

3 principe de l'appareil: ICP

Taille Wafer: 8 inch (compatible avec 4 ou 6 inch)

Matériau Wafer: base si (si nécessaire pour d'autres matériaux)

Machine de dégraissage entièrement automatiqueparamètres

Corps de l'équipement
Dimensions de l'équipement	L1300 × L1190 × H1847mm
Poids de l'équipement	800 kg
Puissance de l'équipement	AC220V，3P,50/60Hz， 5 lignes, 16A
Logiciel hôte	pour Windows 10
Communication hôte	SECS/GEM
Disque dur hôte	Simple / double
Cavité de processus	ICP， Une seule cavité
Type de boîte à matériaux	La cassette ouverte (Open cassette)
Capacité de traitement unique du Wafer	Une tranche
Mains mécaniques	3 axes (option simple / double bras)
Mains mécaniques	Mapping (en option)
Volume de comprimés par heure (WPh)	35 comprimés / heure (formule standard 1 minute)
Plaque chauffante	Alliage d'aluminium, contrôle de la température: 50 - 250 ℃
Système de génération de plasma
Type de puissance	Radiofréquence
Puissance de puissance	0 ~ 1000W
Fréquence de puissance	13,56 MHz
Matcher	Correspondance automatique
Système de vide
Cavité de processus	alliage d'aluminium
Porte de la cavité	Valve de porte, pneumatique
真空管路	Tuyaux entièrement en acier inoxydable, ainsi que des soufflets à vide à haute résistance
Vanne papillon	Précision de la pression de contrôle: ± 50 mtorr
Interrupteur de ligne de vide	Valve d'angle, pneumatique
Pompe à vide	Pompe sèche: 600m3 / h
Compteur de vide	0001 - 10 Torr
Interrupteur à vide à cavité	750 Torr
Interrupteur à vide de tuyau de niveau avant	100 Torres
Système de gaz
Systèmes de gaz Process	Armoire à gaz, modulaire (Gas Box)
Matériel de boîte d'armoire à gaz	acier inoxydable
Échappement d'armoire à gaz	Pression négative, rangée d'acide
Configuration de l'armoire à gaz	Filtres, vannes manuelles, débitmètres, vannes pneumatiques, manomètres différentiels, vannes de régulation de vitesse, interrupteurs à chaîne
Nombre de routes de gaz
Route de gaz 1	O2 5SLM
Route du gaz 2	N2 1SLM
Route du gaz 3	CF4 100SCCM
Route du gaz 4	4 % H2/N2 1SLM
Route du gaz 5	N2 rupture lente / rapide du vide

Plus de besoins peuvent être appelés à communiquer.

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