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Hefei Heavy Light Electronic Technology Co., Ltd
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Hefei Heavy Light Electronic Technology Co., Ltd

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Machine de revêtement adhésif hmds

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Vue d'ensemble
La machine de revêtement adhésif hmds est appliquée pour appliquer uniformément une couche de hmds (hexaméthyldisilazane) sur la surface d'un substrat tel qu'une feuille de silicium avant l'encollage. Effet: réduire l'angle de contact de la Feuille de silicium après le traitement hmds, ce qui réduit la difficulté du déploiement de la colle de synchronisation sur la surface de la Feuille de silicium, améliore l'adhérence de la colle de lithographie et de la Feuille de silicium, réduit la quantité de colle de lithographie.
Détails du produit

Machine de revêtement adhésif hmdsPrincipaux indicateurs techniques:

1,Volume du Studio: 250 ×250 ×250 mm (L × D × H);

2,Matériel de cavité:SUS316;

3,Matériau du cadre extérieur:Q235A, Traitement de surface par pulvérisation;

4,Placement des pièces:2 étages;

5,Mode de chauffage: la partie inférieure de la cavité et les deux côtés sont chauffés, l'appareil de chauffage est externe;

6,Gamme de température de Studio: température normale ~ Le +200℃ ;

7,Résolution de température:0.1℃;

8,Fluctuations de température:±0.5℃;

9,Méthode de refroidissement: refroidissement naturel avec le four;

10,真空度:133Pa, temps d'arrivée au vide10 minutes;

11,Récipient de liquide médicinal:Groupe 1, matériau du conteneur: verre à haute teneur en borosilicium;

12,électricité Source:220V \50 ± 0,5 Hz;

13,Travail Taux: 3kW;

Machine de revêtement adhésif hmdsStructure de la boîtePour:

1, Forme de structure: structure monobloc carrée en acier inoxydable endobiliaire, composée deCavitéPartie, système de vide, système de contrôle électrique composition. Système de contrôle électrique situé dans la boîtehaut, facile à utiliser et à protéger en toute sécurité.

La méthode de pression de la Chambre d'essai est la méthode de pression interne,Adopte la plaque d'acier inoxydable de haute qualité comme boîte de pression(c'est - à - dire la Chambre de travail), garantit la vitesse de refroidissement et la sensibilité du contrôle de la température, et garantit une meilleure uniformité de la température de la Chambre de travail dans un état de basse pression atmosphérique. Réinstaller le boîtier à l'extérieur du studio,Matériau isolant en fibre céramique rempli, augmente les propriétés d'isolation thermique et permet de garantir les performances de l'ensemble de la Chambre d'essai; Total dans la cavité2 étagesPanneau de couches- Oui.

2, matériau de la paroi intérieure de la boîte: tôle d'acier inoxydable (sus316);

3, joint de porte de fournaise: le joint de la porte de fournaise adopte une bande d'étanchéité en caoutchouc de silicone de jupe personnalisée;

4, la paroi externe biliaire intérieure de la Chambre de travail est soudée avec des renforts;

5, installé au bas de la boîte avecLa terreLes pieds.

Système de vide

1, pompe à vide:Pompe sèche

2, accessoires de vide: les principaux accessoires de vide sont tous choisis pour importer des dispositifs de haute qualité, tels que: capteur de pression, électrovanne de décharge de vide

3, pression de travail: affichage numérique.

Système de réhydratation hmds

1, couverture de sus316;

2, récipient porteur de borosilicum élevé;

3, alarme de manque de liquide: compteur de niveau de boule flottante;

4, 1 réservoir de liquide médicinal, 1 ensemble de tuyaux

Système de contrôle:

1, mesure de température: thermocouple d'indexation K blindé de haute qualité;

2, mesure de pression: capteur de pression, sa structure est facile à remplacer, facile à installer;

3, contrôle de la température et de la pression (diagramme d'interface pour référence uniquement):

AdoptionContrôleur Programmable couleur LCD tactile à température constante et pression constante de 7,0 pouces, configuration de l'interface de communication informatique RS232 ou RS485, peut se connecter à l'ordinateur pour stocker des données historiques d'enregistrement, interface chinoise, peut afficher directement la température de réglage, la pression, la température réelle dans la boîte, la déviation de pression, les paramètres du système, la courbe de fonctionnement, l'état de fonctionnement du chauffage et les paramètres d'initialisation verrouillage par mot de passe, etc., et a le fonctionnement automatique du Programme d'essai et la fonction d'auto - ajustement des paramètres PID. La préparation du Programme d'exploitation adopte le mode de dialogue homme - machine, qui peut réaliser la fonction de fonctionnement entièrement automatique de l'équipement;

Caractéristiques des instrumentsPour:

A. avec régulation PID de température et d'humidité et réglage automatique des paramètres de contrôle;

B. utilisant l'affichage à cristaux liquides, il peut afficher plusieurs images (image de fonctionnement, image de sélection, image de réglage des paramètres de fonctionnement, image de réglage des paramètres de réglage et image de réglage des paramètres du programme);

C. la température utilise l'entrée de thermocouple d'indexation K; L'acquisition de données de pression utilise un capteur de pression;

D. avec une riche fonction d'opération arbitraire pour réaliser un contrôle de haute qualité;

4,Le dispositif de contrôle adopte Siemens, Schneider et d'autres dispositifs de haute qualité pour garantir la fiabilité du contrôle.

5, il est équipé d'un dispositif d'alarme acoustique et optique de protection contre la surchauffe et d'un dispositif de protection automatique contre les pannes de courant, afin que l'équipement puisse atteindre l'objectif d'un fonctionnement sûr.

6, élément de contrôle de chauffage:

Mesures de protection de la sécurité

1. Dispositif de protection de terre sûr et fiable;

2, protection de surchauffe de studio indépendante (protection de plafond de température);

3, court - circuit de chauffage et protection contre les surcharges;

Conditions d'utilisation de l'équipement

1, source électrique: AC220V ± 10% V, 50 Hz ± 2%, 3,2 kVA;

2, utilisation de la température ambiante: 5 ~ 35 ℃

3, humidité ambiante: ≤ 85% r.h;

Qualité de l'air: pas de poussière à haute concentration et de gaz corrosifs.

DixUnTableau des principaux matériaux

Nom du matériau

spécification

Pays de production/ fabricants

Traitement des sources de gaz


JaponSMC

Valve d'arrêt/ électrovannes / filtres /

Plusieurs

Produits nationaux de qualité

Protecteur de pression d'eau


Produits nationaux de qualité

Filtres


Produits nationaux de qualité

Pompe sèche


Produits nationaux de qualité

Capteur de pression


Produits nationaux de qualité