Hmds four à vide

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Vue d'ensemble

Hmds four, hmds four sous vide hmds enduit sur la surface de l'échantillon, après chauffage du four peut générer des composés à base de Siloxane, la surface de l'échantillon de l'hydrophilie à l'hydrophobicité, cette hydrophobicité peut être très bien combiné avec la colle photolithographique, augmenter l'adhérence de la surface de l'échantillon avec la colle photolithographique

Détails du produit

Four hmds,Hmds four à videApplication du produit: Aide à l'adhérence du substrat avant l'encollage de la plaquette,Traitement « additif »

Pour la plupart des colles lithographiques avecEn ce qui concerne les substrats si, leur adhérence est généralement bonne, mais en lithographie, certains substrats tels que le saphir, le Nitrure de gallium, l'arséniure de gallium ou même un film mince de métal précieux sont généralement utilisés, l'adhérence de ces substrats à la colle photolithographique n'est souvent pas idéale, ce qui entraîne des problèmes de "fissures" ou même de colle à la dérive lors du développement ultérieur de la lithographie. Par conséquent, il doit être amélioré par des moyens technologiques, cette étape est appelée traitement addictif ou aide au collage.

La silice sous forme d'oxydes (oxydation naturelle) à la surface du quartz, du verre ou du silicium, ainsi que la plupart des métaux, deviennent polaires à leur surface après une exposition à l'atmosphère à une certaine humidité inférieure pendant une période suffisamment longue.La clé Oh. Un tel substrat est hydrophile et présente donc une mauvaise affinité pour les molécules de résine apolaires ou faiblement polaires de la colle lithographique. Pour rendre une telle surface de substrat hydrophobe, des molécules apolaires telles que hmds peuvent être fixées chimiquement à sa surface.

Le hmds se lie aux atomes de si sur une surface exempte d'oxygène, se lie aux atomes d'oxygène à la surface du Groupe oxydant (décomposition du Groupe Oh si nécessaire) et libère de l'ammoniac. Les méthyles non polaires isolent directement la surface du substrat pour former une surface hydrophobe avec une bonne mouillabilité et adhérence à la colle photolithographique.

Hmds four à videPrincipe de fonctionnement:

À température ambiante,La vapeur de hmds est transportée par de l'azote sec dans un "mousseur" puis transférée dans une matrice chauffée (75 - 120°c) où le hmds est lié chimiquement sous forme de film monocouche à la surface du substrat.

Si le liquide estLe hmds est directement enduit par rotation sur le substrat, la couche de hmds ne pouvant jouer qu'un rôle de couche d'adhérence physique et n'améliorant pas l'adhérence; Deuxièmement, la couche de hmds libère de l'ammoniac lors de la cuisson avant, à partir de la couche de photolithographie réticulée entrante près du substrat, contrôlant ainsi le processus de développement.

Caractéristiques du produit:

Structure extérieure:

★ le boîtier adopte la tôle d'acier laminée à froid A3 recadrée, poncée, décapée, phosphatée et d'autres finitions antirouille post - cuisson peinture, le studio adopte la tôle d'acier inoxydable propre sus316 3; entièrement soudée, traitement d'étanchéité résistant à haute température, structure renforcée pour assurer la transformation invisible à haute pression de la boîte.

★ studio haute étanchéité à l'air, la fuite de gaz peut atteindre 100pa / H.

★ double vitrage d'observation en verre trempé antidéflagrant, porte intérieure en verre antidéflagrant de 10 mm.

★ isolation thermique avec 100mm d'épaisseur 100k haute densité silicate d'aluminium matériau d'isolation thermique, l'effet d'isolation thermique est bon.

★ l'étanchéité du cadre de porte utilise une bande d'étanchéité en caoutchouc de silicone sans fluor, résistant à haute température et anti - vieillissement.

Système de contrôle de la température:

★ chauffage hétérosexuel en acier inoxydable, entourant la paroi extérieure du studio, chauffé sur les quatre côtés.

★ 7 pouces interface homme - machine, contrôle PLC + PID + SSR, SSR pas de contact et d'autres périodes de réglage de l'amplitude d'impulsion, PID calcul intelligent, température constante automatique, suppression de la surchauffe, alarme de rupture de fil de capteur, mémoire de panne de courant, contrôle précis de la température, manipulation facile.

★ plusieurs modes de fonctionnement peuvent être définis en fonction du processus

★haute précisionCapteur de température à résistance Platinum blindé en acier inoxydable pt100

Système de sécurité:

★ serrure à clé

★ hmds alarme de niveau de liquide

★ protection contre la surchauffe

★ protection contre les surcharges de courant

★ protection de l'ordre de phase

★ protection contre les fuites

★ protection de la terre

Paramètre de spécification:

Modèle d'équipement Modèle	HMDS-1
Gamme de température contrôlée Plage de température de fonctionnement	RT + 10 ~ 200 ℃
Résolution de la température Résolution de température	0.1℃
Fluctuations de température Stabilité de contrôle	±0.5℃
Pompe à vide Pompe à vide	Pompe à vide sèche 4L/min
真空度 Vdegré acuum	<133pa (1mmHg/1.33mbar)/>-1012mbar
Interface d'azote Interface azote	Φ8mm
Dimensions intérieures Taille de la chambre	W450 * D450 * H450mm
Dimensions extérieures Taille totale	W1100 * D800 * H1500mm
Étagère de couche Nombre de palettes	2PSC
alimentation Alimentation électrique	AC380V 50HZ
puissance Puissance de chauffage	3,5KW
Mode de fonctionnement Mode de fonctionnement	Contrôle PLC, réglage manuel du processus, fonctionnement automatique
Interface opérationnelle Interface de fonctionnement	Contrôleur d'interface homme - machine HMI à écran tactile de 7 pouces (Programmable avec courbe historique, fonction USB to storage)

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