Hellma fluorure de calcium (caf₂) LD - a matériau haute transmission lumineuse

Hellma fluorure de calcium (caf₂) LD - a matériau haute transmission lumineuse

Hellma fluorure de calcium LD - a modèle Core avantages techniques

193nm bande UV profonde spécialement optimisée, ultra haute transmission et faible perte d'absorption

Le matériau hellma caf₂ LD - A est un matériau de qualité optique de haute pureté développé pour l'orientation de la bande laser excimère ARF 193 nm avec des propriétés de transmission optique dans la région ultraviolette profonde. Verre optique conventionnel, matériaux de quartz dans la bande de 193 nm aura une forte absorption et l'atténuation de la transmission, ne peut pas répondre aux besoins de transmission laser et d'imagerie lithographique, tandis que le monocristal de fluorure de calcium de modèle LD - a peut atteindre un taux de transmission de plus de 90% à 193 NM, et le coefficient d'absorption est extrêmement faible, produisant peu de perte d'énergie laser et l'accumulation de chaleur. Le matériau a subi un recuit exclusif de la bande ultraviolette, l'élimination des impuretés, le traitement d'optimisation du treillis, l'élimination du Centre de couleur, des lacunes, des ions métalliques et d'autres défauts résultant de l'absorption ultraviolette, la garantie de ne pas se décolorer, ne pas endommager, ne pas modifier les propriétés optiques sous l'irradiation continue du laser ultraviolet de haute puissance, est un substrat idéal pour le système de lithographie 193nm, le nettoyage laser, le système de détection spectrale ultraviolette.

Structure monocristalline de haute qualité avec orientation cristalline supérieure < 111 >, industrie de l'uniformité optique

Le produit adopte une structure monocristalline (monokristallin), l'ensemble est composé d'un seul réseau continu, sans joints de grains, sans agrégation de dislocations, sans microfissures, sans ségrégation d'impuretés, l'uniformité optique est beaucoup plus grande que le fluorure de calcium polycristallin avec du quartz fondu ordinaire. La structure monocristalline peut garantir un indice de réfraction uniforme et cohérent, éviter la diffusion, la distorsion, la discrétisation du spot lors de la transmission de la lumière, garantir la précision de l'imagerie et la qualité de la transmission laser.

Dans le même temps, les produits adoptent l'orientation cristalline < 111 >, qui est l'orientation privilégiée des matériaux de fluorure de calcium qui a été largement vérifiée dans les applications laser UV profond. < 111 > la surface cristalline a la symétrie structurelle la plus élevée, un faible indice de biréfringence, d'excellentes caractéristiques de répartition des contraintes, ce qui peut réduire considérablement la sensibilité au seuil de dommage induit par laser (lidt), améliorer la résistance de l'élément aux chocs laser de haute puissance; Dans l'environnement de rayonnement laser à haute température, haute pression et intense, la structure de treillis orientée < 111 > est plus stable, il n'y aura pas de fissuration sous contrainte, de distorsion de l'indice de réfraction, d'augmentation de la biréfringence et d'autres problèmes, garantissant un fonctionnement stable à long terme du système optique handason yyds Wu Yayan.

Hellma fluorure de calcium (caf₂) LD - a matériau haute transmission lumineuse