Système PECVD intelligent

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Vue d'ensemble

Le PECVD - III - 500A - d210 est un système PECVD intelligent. L'équipement est principalement divisé en quatre grandes parties: fours tubulaires à zones Multi - températures, composants RF, systèmes de voies d'air et systèmes intégrés de logiciels de contrôle automatique.

Détails du produit

L'équipement est principalement divisé en quatre grandes parties: fours tubulaires à zones Multi - températures, composants RF, systèmes de voies d'air et systèmes intégrés de logiciels de contrôle automatique.

1, four de chauffage ouvert

Le four de chauffage utilise un matériau en fibre d'alumine ultra - léger avec thermocouple de type K, contrôle de la température à 6 points; Le contrôle de la température de levage de l'équipement est flexible, le four de chauffage peut être ouvert électriquement pour faciliter le remplacement du tube de réaction de réparation par le client.

2, système de route de gaz

Le gaz multiplex peut être contrôlé avec précision par le débitmètre massique pour le dosage de mélange à différents débits, en plus 1 seul passe à l'intérieur du tube de réaction après avoir traversé le barboteur.

3, composants RF

1000w haute performance RF Luminescence uniforme, peut faire toute la cavité de réaction dans la zone de production de Luminescence.

4. Système de contrôle intelligent

Avec contrôle de flou PID intelligent, 30 segments de contrôle programmable. Avec fonction d'alarme de couple de coupure super douce.

Température maximale	1200℃
Température de fonctionnement continue	≤1100℃
Taux de réchauffement	≤10℃/min
Précision du contrôle de la température	±1℃
Éléments chauffants	Fil de résistance
Thermocouples	Type K
Mode de contrôle de la température	Contrôle PID flou et réglage d'auto - ajustement, commande programmable à 30 segments avec intelligence artificielle, avec fonction d'alarme de couple de coupure ultra - douce, interface homme - machine plus contrôle PLC, contrôle d'écran LCD de 15 pouces, double contrôle de l'instrument de commande numérique, double contrôle avec thermomètre de contrôle intelligent industriel et logiciel
Puissance totale de chauffage	≤15KW
Dimensions de la zone de chauffage	300 + 300 + 300 mm
Puissance RF	1000W
Dimensions de l'équipement	2550 * 850 * 1600mm
Poids de l'équipement	Environ 600kg

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