Système d'exposition par faisceau d'électrons JC nabity (générateur nanographique npgs)

Système d'exposition par faisceau d'électrons npgs v9.1 basé sur la modification SEM / FIB

1) Le npgs est basé sur le Sem, Stem ou FIB existant, ainsi que sur le système de contrôle de faisceau d'électrons, qui contrôle le balayage vectoriel du faisceau d'électrons dans le miroir électrique via une interface informatique pour écrire directement le graphique.

2) Le système npgs combine les fonctions d'observation du SEM original. N'affecte pas le fonctionnement du SEM lui - même.

3) puissant, facile à utiliser et flexible à utiliser.

4) npgs et SEM ou FIB grand public d'aujourd'hui, etc. peuvent être assortis.

Npgs v9.0 est un logiciel qui permet de contrôler le faisceau d'électrons des miroirs électriques à balayage. L'exposition par faisceau d'électrons à base de miroirs électriques est simplement divisée en deux parties: la conception de l'écriture et le fonctionnement graphique. La conception d'écriture est faite par le programme designcad fourni aléatoirement par npgs. Ce programme de Cao a été modifié pour ajouter des commandes pour l'exposition au faisceau d'électrons. L'exécution graphique comprend des paramètres de réglage qui sont utilisés par npgs pour calculer la position de chaque point sur le graphique, ainsi que le temps d'exposition.

Carte matérielle npgs: la carte micro Shadow personnalisée est installée sur la base d'un emplacement pcie haute vitesse interne à une station de travail informatique. Les principales caractéristiques sont:

1.adoptez la sortie de conversion numérique - analogique à haute vitesse de 16 bits, sortie simultanée X, y à deux canaux, fréquence de balayage synchrone de 5 MHz, compatible avec 6 MHz, incrément minimum de temps de résidence de faisceau d'électrons de 0,5 nanoseconde, et toutes les fréquences peuvent atteindre cette résolution.

2. Méthode de numérisation d'écriture: méthode de numérisation vectorielle et méthode de numérisation bitmap.

3. Sortie de contrôle de porte de faisceau électronique intégrée.

4. L'acquisition d'image utilise une entrée de conversion analogique - numérique 16 bits intégrée.

5. Basé sur le slot pcie, facile à installer et fiable à utiliser.

Bloqueur de faisceau d'électrons (Gate): Gate de faisceau à grande vitesse de type champ électrique. Le système npgs prend également en charge le fonctionnement de porte sans faisceau.

Picoampermeter: un système d'exposition par faisceau d'électrons basé sur SEM nécessite un picoampermeter qui lit avec précision le flux de faisceau d'électrons de l'échantillon bombardé. En général, il est nécessaire de connecter un pianmètre à la sortie de courant de l'échantillon à l'extérieur de la table de support du miroir électrique.

Flux de faisceau de miroirs: le npgs peut être connecté en option pour contrôler la coupe Faraday et / ou lire à partir d'un pico - ampèremètre, mais la plupart des utilisateurs utiliseront une coupe Faraday et un pico - ampèremètre à Commande manuelle.

Paramètres de miroir électrique et contrôle de table électrique: plusieurs pilotes numériques universels de miroir électrique et pilotes de table de chargement sont disponibles gratuitement. S'il existe un Protocole de communication par port série, ce système prend en charge tout contrôle externe.