Appareil de mesure rapide de diamètre microporeux madlink 100

Appareil de mesure rapide de diamètre microporeux madlink 100Est un instrument optique spécialement appliqué à la mesure rapide du diamètre des micropores sur les lamelles, résolvant efficacement le problème technique difficile de l'inspection complète de l'ouverture des micropores sur les lamelles de la méthode traditionnelle optiquement en utilisant la technologie de traitement d'image microscopique et la microscopie électronique. Il se caractérise par une seule prise en main de tous les micropores de la gamme complète de la plaquette (zone maximale de 5,0 x 4,5 mm), ce qui permet de produire des cartes des caractéristiques de taille des pores, de la distribution des pores et de la distribution de la position des micropores de tous les micropores de la plaquette.

Figure 1: diagramme de l'échantillon microporeux

Le diamètre microporeux d'une plaquette fait référence au diamètre de petits trous de taille micrométrique, voire submicronique, sur une plaquette plane.

Un microscope optique ordinaire est limité par le phénomène de diffraction optique, la résolution la plus élevée ne peut atteindre qu'environ 0,5 µm, de sorte que les micropores d'environ 1 µm sont mesurées avec un microscope optique ordinaire, l'erreur est évidemment excessive; En outre, vous ne pouvez utiliser qu'un objectif microscopique 40 fois ou plus, la taille du champ ne peut atteindre que 0,2 mm ou moins. Pour les microparticules fabriquées sur des flocons avec une distribution de position allant jusqu'à plusieurs millimètres, il n'est pas possible d'effectuer une seule prise dans tout le domaine. Même si la mesure par balayage de partition peut prendre beaucoup de temps, il est inévitable qu'il y ait des problèmes d'échec. Si vous utilisez un objectif microscopique à faible facteur pour faire une mesure de prise de vue globale, par exemple 2x, alors en raison de la petite ouverture numérique de l'objectif à faible facteur (l'ouverture numérique de l'objectif 2x est seulement 0,06), le diamètre du spot diffracté (IRIS) causé par la limitation de l'Ouverture peut atteindre environ 10 µm, l'observation de micropores de l'ordre de quelques dizaines de microns avec un tel objectif crée un flou important, tandis que pour les micropores de l'ordre de 1 µm, l'image d'un microscope optique ordinaire ne reflète plus la taille des trous. Par conséquent, les systèmes de mesure basés sur des techniques de microamplification optique et de traitement d'image numérique ont du mal à effectuer des mesures rapides globales de ce type de micro - ouverture. Les microscopes électroniques, bien qu'ils aient une meilleure profondeur de champ et une meilleure résolution, ont un champ de vision de mesure unique plus petit et sont coûteux à utiliser, ce qui les rend moins adaptés à une large gamme d'applications dans la mesure rapide du diamètre des micropores des lamelles.

Figure 2: schéma de fonctionnement

Appareil de mesure rapide de diamètre microporeux madlink 100En utilisant la microporométrie de flux lumineux développée par l'équipe Truth Optics, en utilisant la relation du flux lumineux à travers les micropores proportionnelle à la surface du trou, comme illustré ci - dessous, cette méthode d'imagerie microscopique optique (lentille d'imagerie) de diffraction optique évite efficacement les contraintes sur la précision de la mesure de la taille du diamètre des micropores.

Figure 3: diagramme de la relation flux lumineux - courbe d'ouverture

L'ouverture microporeuse est calculée à partir de la valeur du flux lumineux détecté par le capteur d'image pour chaque trou, tout en corrigeant la perte d'énergie lumineuse due à la diffraction optique des micropores eux - mêmes, de sorte que la mesure de l'ensemble de l'ouverture microporeuse dans la zone peut être effectuée rapidement avec une seule prise de vue complète du diamètre des micropores, la courbe de distribution du diamètre des micropores et la carte de distribution de la position spatiale sont finalement sorties.

Figure 4: rapport d'essai analytique typique