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MKS Fourier système d'analyse de gaz spécifique électronique infrarouge

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Vue d'ensemble

Le système d'analyse de gaz spécifique électronique infrarouge MKS Fourier est largement utilisé pour le contrôle et la surveillance des processus de production de semi - conducteurs, l'analyse de la pureté et de la composition des gaz, la surveillance des gaz toxiques et nocifs pour l'environnement et la surveillance des gaz d'échappement industriels. L'analyseur de spectroscopie infrarouge à transformation de feuille de Fuli multigas 6030 peut analyser des flux gazeux contenant jusqu'à 40% d'eau et peut analyser et afficher jusqu'à 30 gaz simultanément. L'analyseur stocke le spectre d'étalonnage, économisant ainsi le coût de la cartouche de gaz. En outre, les opérateurs trouveront l'analyseur de spectroscopie infrarouge à transformée de Fourier multigas  6030 facile à utiliser et facile à entretenir.

Détails du produit

MKS Fourier système d'analyse de gaz spécifique électronique infrarougeDescription

MKS multigas  6030 l'analyseur de spectre infrarouge à transformée de Fourier est un analyseur de spectre multigaz basé sur l'infrarouge à transformée de Fourier. Il a une sensibilité de ppb à ppm. Il est largement utilisé pour le contrôle et la surveillance des processus de production de semi - conducteurs, l'analyse de la pureté et de la composition des gaz, la surveillance des gaz toxiques et nocifs pour l'environnement et la surveillance des gaz d'échappement industriels. L'analyseur de spectroscopie infrarouge à transformation de feuille de Fuli multigas 6030 peut analyser des flux gazeux contenant jusqu'à 40% d'eau et peut analyser et afficher jusqu'à 30 gaz simultanément. L'analyseur stocke le spectre d'étalonnage, économisant ainsi le coût de la cartouche de gaz. En outre, les opérateurs trouveront l'analyseur de spectroscopie infrarouge à transformée de Fourier multigas  6030 facile à utiliser et facile à entretenir.

Multigas  6030 l'analyseur de spectroscopie infrarouge à transformée de feuille de Fourier est composé d'un spectromètre infrarouge à transformée de feuille de Fourier 2102, d'une unité d'échantillonnage à flux lumineux élevé, d'un logiciel d'analyse professionnel et d'une bibliothèque de spectroscopie quantitative indépendante. Multigas  6030 recueille la spectroscopie infrarouge haute résolution et l'analyse quantitative de la Bibliothèque de spectroscopie pour fournir des mesures de haute précision et de haute sensibilité de la grande majorité des gaz et de la vapeur d'eau.

Caractéristiques et avantages

⚫ Ppb - sensibilité de 100% pour la grande majorité des gaz toxiques et nocifs

⚫ Facile à déplacer d'un endroit à l'autre, la configuration ne prend que quelques minutes

⚫ Analyse et affichage simultanés de jusqu'à 30 gaz

⚫ L'analyseur stocke le spectre d'étalonnage, éliminant le coût de la cartouche de gaz

⚫ Le gaz prélevé est chauffé et maintenu à une température constante avant d'entrer dans la Chambre d'analyse

MKS Fourier système d'analyse de gaz spécifique électronique infrarougeApplication

⚫ Moniteur de cheminée

⚫ Amélioration et optimisation de la surveillance des processus

⚫ Analyse de l'environnement aérien

⚫ Détecteur linéaire pour s'assurer que tous les Analyseurs sont maintenus dans les mêmes conditions d'étalonnage

⚫ Diagnostic de fréquence et de résolution pour assurer un étalonnage constant

⚫ Fournit une compensation automatique de la température et de la pression pour assurer la précision de l'analyse

⚫ Interface logicielle facile à utiliser par l'utilisateur, peut fonctionner avec un peu de formation

⚫ Analyse de pureté des gaz

⚫ Surveillance des émissions de combustion

⚫ Surveillance des performances de réduction catalytique par rectification sélective du silicium

Analyse spectrale

L'analyseur de multigas dispose d'un logiciel d'analyse quantitatif et polyvalent qui analyse et rapporte simultanément la concentration de nombreux mélanges, un logiciel qui fonctionne sur un ordinateur personnel et qui corrige automatiquement les changements de température et de pression des gaz mesurés directement par l'analyseur. La collecte et l'analyse de l'échantillon se fait en une seconde avec une analyse instantanée.

MKS傅里叶红外电子特气分析系统

Tout au long du processus de collecte des données, le logiciel multigas calcule la concentration du gaz sélectionné dans Setup tout en collectant et en traçant en permanence le spectre. La forme d'affichage comprend un graphique et une forme de liste de l'historique des concentrations, des spectres mesurés et des spectres résiduels. Cette énergie spectrale résiduelle est utilisée pour déterminer l'erreur d'analyse, ce qui rend le QA / QC simple et vrai. Lorsque tous les spectres mentionnés ont été résolus, le spectre résiduel décrit une fois l'information spectrale « restante». Une fois les spectres collectés et conservés, ces spectres peuvent être retravaillés à tout moment avec des réglages de zéro identiques ou différents.

MKS傅里叶红外电子特气分析系统

Correspondant à une conception spéciale pour la surveillance de l'environnement et du processus, le spectromètre infrarouge à transformée de folier 2102 est compact et rugueux, capable de fonctionner sur une résolution spectrale de 0,5 cm - 1, est rapide, sensible et stable dans la manière de traiter FTIR disponible! En outre, il peut fonctionner dans des environnements difficiles et est immunisé contre les températures élevées, les vibrations et les changements de température. Plus cher encore, les systèmes de traitement de données à haute vitesse sont standard et fournissent un spectre infrarouge à faible bruit pour l'analyse.

MKS傅里叶红外电子特气分析系统

Ce spectromètre est connecté à un petit volume (200 ml) Multi - transform, avec un canal efficace de 5,11 mètres pour obtenir une chambre à gaz exclusive, conçue pour combiner un miroir asphérique et non terminal, qui fournit deux fois plus de débit optique pour une Chambre d'échange d'air variable traditionnelle. En option, une seule chambre à gaz transformée peut être utilisée pour des concentrations élevées de gaz corrosifs ou fortement absorbants, l'une ou l'autre fonctionnant à une température ambiante de 150 ° c.

MKS傅里叶红外电子特气分析系统

Calibration autonome des instruments

Le logiciel de multigas a des diagrammes d'étalonnage multipoint qui peuvent fournir une gamme dynamique de l'ordre de 10 - 9. L'étalonnage de nombreux nombres de noyaux est assuré par celui - ci, l'utilisateur pouvant en outre effectuer l'étalonnage par des concentrations connues. Le logiciel multigas vérifie l'utilité des performances de chaque outil, ce qui lui permet d'utiliser une valeur déjà calibrée sur une machine pour n'importe quelle autre machine sans aucune modification.

MKS傅里叶红外电子特气分析系统

MKS傅里叶红外电子特气分析系统

MKS傅里叶红外电子特气分析系统