Pompe moléculaire composite de type palier à suspension magnétique série TG - M

Pompe moléculaire composite de type palier à suspension magnétique série TG - M

La pompe turbomoléculaire est composée d'aubes rotoriques multicouches et d'aubes statoriques. Ce qui est montré ci - dessous est l'angle de la pale, ainsi que la relation de sens de rotation des molécules de gaz entrant dans la pompe du côté du vide élevé, qui se détachera dans différentes directions après s'être fixé à la pale du rotor selon la distribution de Maxwell. Cependant, en raison de l'angle d'inclinaison et de la rotation des aubes, les molécules volent dans la couche suivante et traversent facilement les aubes du stator vers le bas. Dans le même temps, les molécules de gaz qui volent de l'étage inférieur et rétrogradent après avoir passé les pales fixes peuvent également voler à nouveau vers l'étage suivant par collision avec les pales du rotor. L'angle de la pale est un angle dans lequel les molécules de gaz de la couche supérieure passent facilement (la différence entre le sens de l'échappement et le contre - courant est plus grande), tandis que les molécules de gaz de la couche inférieure ne sont pas facilement rétrogrades (la différence entre le sens de l'échappement et Le contre - courant est plus grande). Dans le bassin moléculaire, la pompe turbomoléculaire est à travers cette pale de rotor et les pales de stator pour effectuer des performances de base

Caractéristiques principales

・environnement ultra - vide sans huile

・échappement moléculaire de gaz mécanique (échappement dynamique), la vitesse d'échappement est à peu près la même pour tous les gaz

・les gaz rares et corrosifs peuvent être évacués

・peut évacuer en continu un grand débit de gaz

・large plage de pression pouvant fonctionner. (~ 10-10Pa).

OsakaPompe moléculaire composite de type palier à suspension magnétique série TG - M

Utilisez des roulements à suspension magnétique pour obtenir un échappement sans huile et des cycles de maintenance longs. Fournir des produits avec la vitesse d'échappement 300l / S ~ 3400l / S.

TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M

La particularité de la nouvelle pompe turbomoléculaire de type palier à suspension magnétique tg397m / tg427m / tg907m / tg1307m

• Conception électrique provinciale

• Les données de travail, le nombre de contacts de roulement, les informations de type machine, etc. peuvent être stockées dans le corps de la pompe moléculaire ※ lors de l'entretien, même si le Contrôleur est remplacé, les données peuvent être transférées

• Spécifications de communication multiples (peut correspondre à EtherCAT)

• Spécifications internationales

• Conforme aux spécifications ce, semi - s2, nrtl

  Occasions d'application:

  
  

• Équipement de fabrication de semi - conducteurs

• Équipement de fabrication FPD

• Équipement de fabrication de cellules solaires

• Traitement de composants optiques tels que verre / lentilles

• Traitement de film

• Accélérateur / équipement expérimental pour l'environnement cosmique

  Paramètres techniques:

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