Version masque ｜ système de détection rapide des particules à la surface du film protecteur

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Vue d'ensemble

Le système de détection rapide des particules de surface (PDS) fournit des services de détection de la pollution par les particules de surface à haut débit pour les processus de fabrication de plaques de masque, de films de protection de plaques de masque et de substrats (substrats). $R $N $R $N le système a une taille de particule supérieure à 0,1 N° 181; Les particules de m ont une sensibilité élevée et sont une option efficace et de service. Il peut remplacer les systèmes de détection de particules traditionnels avec un fonctionnement manuel ou automatique et des coûts de maintenance réduits.

Détails du produit

FastmicroVersion masque ｜ système de détection rapide des particules à la surface du film protecteur(PDS)

Version masque ｜ système de détection rapide des particules à la surface du film protecteur(PDS)Fournir des services de détection de contamination de particules de surface à haut débit pour la plaque de masque, le film de protection de la plaque de masque, ainsi que le processus de fabrication du substrat (substrat).

Le système est hautement sensible aux particules de taille supérieure à 0,1 µm, ce qui en fait une option efficace et offrant des services. Il peut remplacer les systèmes de détection de particules traditionnels avec un fonctionnement manuel ou automatique et des coûts de maintenance réduits.

Caractéristiques du produit:

Détection à haut débit: 400 plaquettes détectables par heure (WPh)
Sortie de données: classe SCP sortie dans l'interface utilisateur et rapport PDF selon la norme ISO 14644 - 9
Détection recto - verso: détection recto - verso complète en une seule mesure (sans retournement)
Plage de détection: capable de détecter des particules équivalentes ≥ 0,1 µm de latex de polystyrène (PSL) (certifié NIST)

Mesure de conformité pendant la production

Rapide:Capable de réaliser des images de grande surface en quelques secondes

Quantitativement:Adapté à la qualification et au suivi de la qualité dans les environnements de production et de R & D

Opération facile:Pas affecté par l'opérateur, automatisation, méthode de capture propre

Précision:Mesure haute résolution (quantité, position, taille)

Cohérence:Chaque mesure reste objective et stable

Haut débit:Peut obtenir des résultats dans la fenêtre de temps de processus

掩膜版｜保护膜表面颗粒物快速检测系统

FM - PDS: détection directe des particules de surface

Le système peut être utilisé pour les processus de fabrication de plaquettes, les semi - conducteurs composés de la prochaine génération et l'excellente EncapsulationPour fournir des services de détection de pollution par particules de surface à haut débit.

Le système a une taille de particules supérieure à 0,1des μmLes particules ont une sensibilité élevée, est unEfficacité et choix des services.

Il peut fonctionner de manière manuelle ou automatique, etCoûts de maintenance réduits, remplaçant les systèmes de détection de particules traditionnels.

Propriétés du système PDS pour les applications de production de semi - conducteurs de nouvelle génération: double face identiqueScan temporel (en option);

Balayage statique du champ de vision (pas besoin de déplacer le produit pendant l'acquisition de l'image).

Plateforme modulaire multifonctionnelle

Système spécialement conçu pour la mesure directe des plaques de masque duv (ultraviolet profond) et EUV (ultraviolet extrême)Les niveaux de contamination par les particules sur les surfaces de revêtements, de réticules ou d'autres types de substrats sont développés.

Le système peut être personnalisé et étendu en fonction des besoins du client. Les modules de mesure sont également disponibles pour les intégrateurs de systèmes et les fabricants d'équipement d'origine (OEM) avec des services d'étiquetage

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