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5e étage, Helen International Building, 778 Baoshan Road, Hongkou District, Shanghai
Shanghai Juna Technology Co., Ltd
5e étage, Helen International Building, 778 Baoshan Road, Hongkou District, Shanghai
Ns3500g grand scanner laser 3D sans contact
NS-3500GEst un scanner sans contact 3D fiable.Des images microscopiques confocales en temps réel sont obtenues grâce à un module de balayage optique rapide et à des algorithmes de traitement du signal. Des solutions * pour la mesure et la détection de structures tridimensionnelles microscopiques telles que les plaquettes semi - conductrices, les produits FPD, les dispositifs MEMS, les substrats en verre, les surfaces de matériaux, etc.
Caractéristiques et avantages(performance et avantages):
Compensation automatique d'inclinaison pour mesure optique 3D sans dommage à haute résolution
Imagerie confocale en temps réelMode d'analyse de données simple
Plusieurs zooms optiquesDouble z - scan
Large gamme d'épissureDétection caractéristique de substrats translucides
Temps réelImagerie champ ouvert et confocale CCDAucune préparation d'échantillon
Mise au point automatique
Champ d'application(domaines d'application):
Le NS - 3500 est une solution prometteuse pour mesurer les matériaux de faible dimension.
Peut mesurer la hauteur, la largeur, l'angle, la surface et le volume des structures micrométriques et submicroniques, par exemple
- semi - conducteurs: graphiques IC, hauteur concave et convexe, hauteur de bobine, détection de défauts, processus CMP
- produits FPD: détection d'écran tactile, motif Ito, hauteur d'espacement des colonnes LCD
- dispositifs MEMS: profil 3D structurel, rugosité de surface, graphiques MEMS
- surface du verre: cellule solaire à film mince, texture de cellule solaire, motif laser
- Étude des matériaux: détection de la surface du moule, rugosité, analyse des fissures
Specification (spécifications):
Modèle |
Microscope NS-3500 |
Remarque |
|||||
Contrôleur NS-3500E |
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Grossissement Objectif |
10x |
20 fois |
50 fois |
100x |
150x |
||
Gamme d'observation / mesure |
Niveau (h): μm |
1400 |
700 |
280 |
140 |
93 |
|
垂直 (V) : μm |
1050 |
525 |
210 |
105 |
70 |
||
Plage de travail: mm |
16.5 |
3.1 |
0.54 |
0.3 |
0.2 |
||
Ouverture numérique (N.A.) |
0.30 |
0.46 |
0.80 |
0.95 |
0.95 |
||
Zoom optique |
x1 à x6 |
||||||
Grossissement total |
178x to 26700x |
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Systèmes optiques d'observation / mesure |
Système optique confocal à trou d'épingle |
||||||
Mesure de la hauteur |
Mesurer la portée du scan |
Balayage long: 10mm [NS - 3500 - t] |
|||||
Résolution d'affichage |
0,001 μm |
||||||
Taux de répétition σ |
0,010 μm |
Note 1 |
|||||
Mesure de largeur |
Résolution d'affichage |
0,001 μm |
|||||
Taux de répétition 3σ |
0,02 μm |
Note 2 |
|||||
Mémoire de cadre |
Pixels |
1024x1024, 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96 |
|||||
Image monochrome |
12 bits |
||||||
Images en couleur |
8 bits pour RGB chacun |
||||||
Mesure de la hauteur |
16 bits |
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Frame Rate |
Scan de surface |
20 Hz à 160 Hz |
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Scan de ligne |
~ 8 kHz |
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Fonction automatique |
Gain automatique |
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Source lumineuse de mesure confocale laser |
Longueur d'onde |
405 nm |
|||||
sortie |
~ 2mW |
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Classe laser |
Classe 3b |
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Élément de réception laser |
PMT (photomultiplicateur) |
||||||
Source lumineuse optique d'observation |
lampe |
LED de 10W |
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Caméra d'observation optique |
Éléments d'imagerie |
Capteur CCD d'image couleur 1 / 2 " |
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Résolution d'enregistrement |
640x480 |
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Ajustement automatique |
Gain, vitesse d'obturation, white balance |
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Unité de traitement des données |
PC |
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alimentation |
Tension d'alimentation |
100 to 240 VAC, 50/60 Hz |
|||||
Consommation de courant |
500 VA max. |
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poids |
Microscope |
Environ. ~200 kg (Unité de tête de mesure : ~12 kg) |
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Contrôleur |
~ 8 kg |
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Note 1: 100 mesures sur un échantillon standard (pas de 1 µm) avec un objectif de 100 × / 0,95
Note 2: 100 mesures sur un échantillon standard (pas de 5 µm) avec un objectif de 100 X / 0,95.