Ns3500 Solar système de détection de la qualité des plaquettes semi - conductrices

NégociableMise à jour sur05/06

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Vue d'ensemble

Le NS - 3500 Solar est un système fiable de détection de plaquettes semi - conductrices. Des images microscopiques confocales en temps réel sont obtenues grâce à un module de balayage optique rapide et à des algorithmes de traitement du signal. Il existe diverses solutions pour la mesure et la détection de structures tridimensionnelles microscopiques telles que les plaquettes semi - conductrices, les produits FPD, les dispositifs MEMS, les substrats en verre, les surfaces de matériaux, etc.

Détails du produit

Ns3500 Solar système de détection de la qualité des plaquettes semi - conductrices

Le NS - 3500 Solar est un système fiable de détection de plaquettes semi - conductrices. Des images microscopiques confocales en temps réel sont obtenues grâce à un module de balayage optique rapide et à des algorithmes de traitement du signal. Dans la mesure et la détection de structures tridimensionnelles microscopiques, divers types peuvent être fournis pour les plaquettes semi - conductrices, les produits FPD, les dispositifs MEMS, les substrats en verre, les surfaces matérielles, etc.La solution.

Caractéristiques et avantages(performance et avantages):

Compensation automatique d'inclinaison pour mesure optique 3D sans dommage à haute résolution
Imagerie confocale en temps réelMode d'analyse de données simple
Plusieurs zooms optiquesDouble z - scan

Large gamme d'épissureDétection caractéristique de substrats translucides
Temps réelImagerie champ ouvert et confocale CCDAucune préparation d'échantillon
Mise au point automatique

Champ d'application(domaines d'application):

Le NS - 3500 est une solution prometteuse pour mesurer les matériaux de faible dimension.

Peut mesurer la hauteur, la largeur, l'angle, la surface et le volume des structures micrométriques et submicroniques, par exemple

- semi - conducteurs: graphiques IC, hauteur concave et convexe, hauteur de bobine, détection de défauts, processus CMP

- produits FPD: détection d'écran tactile, motif Ito, hauteur d'espacement des colonnes LCD

- dispositifs MEMS: profil 3D structurel, rugosité de surface, graphiques MEMS

- surface du verre: cellule solaire à film mince, texture de cellule solaire, motif laser

- Étude des matériaux: détection de la surface du moule, rugosité, analyse des fissures

Specifications (spécifications):

Modèle	Microscope NS-3500 solaire					Remarque
Grossissement Objectif		10x	20 fois	50 fois	100x
Gamme d'observation / mesure	Niveau (h): μm	1400	700	280	140
	垂直 (V) : μm	1050	525	210	105
Plage de travail: mm		16.5	3.1	0.54	0.3
Ouverture numérique (N.A.)		0.30	0.46	0.80	0.95
Zoom optique		x1 à x6
Grossissement total		178x to 26700x
Systèmes optiques d'observation / mesure		PinholeSystème optique confocal
Mesure de la hauteur	Mesurer la portée du scan	400 µm				Note 1
	Résolution d'affichage	0,001 μm
	Taux de répétition σ	0,010 μm				Note 2
Mémoire de cadre	Pixels	1024x1024, 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96
	Image monochrome	12 bits
	Images en couleur	8 bits pour RGB chacun
	Mesure de la hauteur	16 bits
Frame Rate	Scan de surface	20 Hz à 160 Hz
	Scan de ligne	~ 8 kHz
Source lumineuse de mesure confocale laser	Longueur d'onde	405 nm
	sortie	~ 2mW
	Classe laser	Classe 3b
Élément de réception laser		PMT (photomultiplicateur)
Source lumineuse optique d'observation	lampe	LED de 10W
Caméra d'observation optique	Éléments d'imagerie	Capteur CCD d'image couleur 1 / 2 "
	Résolution d'enregistrement	640x480
	Ajustement automatique	Gain, vitesse d'obturation, white balance
Unité de traitement des données		PC
alimentation	Tension d'alimentation	100 to 240 VAC, 50/60 Hz
	Consommation de courant	500 VA max.
poids	Microscope	Environ ~50 kg (Unité de tête de mesure : ~12 kg)
	Contrôleur	~ 8 kg
Système d'isolation vibratoire		Système d'isolation vibratoire de plate - forme optique aéroflottante				Option

Note 1: le balayage fin est effectué par un actionneur piézoélectrique (PZT).

Note 2: 100 mesures sur un échantillon standard (pas de 1 µm) avec un objectif de 100 X / 0,95.

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