Contrôleur de pression pc100

NégociableMise à jour sur01/07

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Vue d'ensemble

Le Contrôleur de pression pc100 est un produit de contrôle de pression numérique qui offre une précision et une fiabilité élevées pour le contrôle et la mesure de la pression du gaz. Peut soutenir le signal numérique et le signal analogique 0 ~ 5V en même temps, en utilisant une seule alimentation. En outre, les protocoles de communication standard et ouverts facilitent le développement de logiciels de contrôle et d'acquisition par les clients eux - mêmes.

Détails du produit

Points d'innovation

Technologie de détection de pression basée sur pts

D'une part, la compensation de la température par l'optimisation biparamétrique de la pression, de la température, l'établissement d'un modèle de données pression - température pour calculer le tableau des coefficients de compensation; D'autre part, en améliorant l'emplacement de l'installation du capteur, réduire la façon de détecter le volume de la cavité, de sorte que le signal du capteur mesure plus précisément et avec précision la pression de contrôle.

Technologie de contrôle de pression basée sur l'IA

Identifier rapidement les modèles tels que les fluctuations de pression à débit fixe, les fluctuations de pression à débit fixe, etc. en établissant un modèle de données de fluctuation de pression. Selon différents modes, la régulation PID de la pression est effectuée par pré - augmentation ou réduction de la tension de la vanne, la stratégie est caractérisée par une réponse rapide et un contrôle stable.

Technologie de résistance à la corrosion tout métal

Avec technologie de vanne de régulation de pression proportionnelle au fluor à garniture encastrée. La structure d'étanchéité de la vanne est principalement en acier inoxydable 316L et en matériau tétrafluoré (PTFE). Le matériau PTFE améliore la durée de vie du produit et convient à tous les types de gaz corrosifs, tout en offrant une étanchéité supérieure à celle du métal.

Domaines d'application

Semi - conducteurs - Affichage

Semi - conducteurs - circuits intégrés

Semi - conducteurs - éclairage

Énergie propre - photovoltaïque

indicateurs techniques

modèle	du PC100
Type de pression	Pression absolue
Pleine échelle pour contrôler la pression	1000Torr et 1200mbar
Résistant à la pression	3 MPa
Débit à pleine échelle de la bouche de soupape	50, 500sccm; 1, 2, 3 et 5 SLM
Mode de contrôle	En amont
Coefficient de température	Zéro: ±0,02% de F.s./℃; Span: ±0,04% de lecture / ℃
Résolution de pression	0,1 Torr
Précision du contrôle de pression	±1,0% de lecture (≥10% FS); ±0,2% de F.S. (<10% FS)
Temps de réponse	< 1,0 S
Plage de température de fonctionnement	10℃~50℃
Interface mécanique	Double douille de carte 1 / 4 ', VCR 1 / 4 "connecteur mâle
Type de valve	Normalement fermé
Fuite extérieure	< 1x10^-10(scc/sec Il)
Fuite interne	< 1,0% de débit à pleine échelle à l'orifice de soupape (25 psig à l'extrémité d'admission et atmosphérique à l'extrémité d'échappement lorsque la soupape est fermée)
Alimentation électrique	+15 ~ +24 VDC (<4 watts)
Interface électrique	DB - 9 broches, connecteur EtherCAT

Remarque :

Les contrôleurs de pression de gaz quittent généralement l'usine avec de l'azote (n₂), la Calibration.

L'unité de pression du gaz est spécifiée comme suit: Torr (Torr); Mbar (millibars)

L'état standard est spécifié comme suit: température - 273,15 K (0 °C); Pression d'air - - 101325 Pa (760 mm Hg)

Dans les produits PC électroniques de Huayi, les unités SCCM et "ml / min, 0 ° C, 1 atm" sont équivalentes et les unités SLM et "L / min, 0 ° C, 1 atm" sont équivalentes.

F.S. (Full scale): valeur de pleine échelle; S.P. (set point): valeur de consigne

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