Contrôleur de pression pc200

NégociableMise à jour sur01/07

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Vue d'ensemble

Le régulateur de pression pc200 est utilisé pour le contrôle précis et la mesure de la pression du gaz. Il est principalement utilisé dans des domaines tels que les processus de circuits intégrés à semi - conducteurs, les matériaux spéciaux, l'industrie chimique, l'industrie pétrolière, la médecine, la protection de l'environnement et le vide.

Détails du produit

Points d'innovation

Prise en charge de l'alimentation à large plage à double alimentation

Utilisant l'alimentation ± 15vdc, la double alimentation est alimentée par une large gamme, avec peu de courant et une faible consommation d'énergie.

Tension analogique quatre formes combinées

L'entrée et la sortie de tension analogique sont disponibles en quatre formes combinées, au choix.

Pression contrôlée en amont et en aval

La pression de commande peut être réalisée en amont et en aval, par le biais du flux du canal de conversion, le logiciel modifie les paramètres de contrôle en amont et en aval, c'est - à - dire que le mode de pression de commande est commuté.

Domaines d'application

Semi - conducteurs - circuits intégrés

Semi - conducteurs - Affichage

Sciences de la vie - instruments analytiques

Recherche scientifique - matériel expérimental

indicateurs techniques

modèle	du PC200
Type de pression	Pression absolue, pression manométrique
Pleine échelle pour contrôler la pression	Pression absolue: 1000torr, 2000torr; 300kpa, 3000mbar pression manométrique: 500kpa
Résistant à la pression	3 MPa
Débit à pleine échelle de la bouche de soupape	200 sccm; 1, 2, 4, 5, 10, 15, 50 SLM
Mode de contrôle	En amont, en aval
Coefficient de température	Zéro: ±0,02% de F.s./℃; Span: ±0,04% de lecture / ℃
Résolution de pression	0,1 Torr
Précision du contrôle de pression	±0,5 % de F.S.
Temps de réponse	< 1,0 S
Plage de température de fonctionnement	5℃~50℃
Interface mécanique	Connecteur mâle vcr1 / 4 ', connecteur mâle vcr3 / 8'.
Type de valve	Normalement fermé, normalement ouvert
Fuite extérieure	< 5x10^-12(Pa.m)³Il)
Fuite interne	< 1,0% de débit à pleine échelle à l'orifice de soupape (lorsque la soupape est fermée, l'extrémité d'admission est de 25 psig et l'extrémité d'échappement est atmosphérique)
Alimentation électrique	+ 15 ~ + 24VDC (un étage), ± 15vdc (bipolaire, prise en charge de l'interface DB - 9 broches uniquement)
Interface électrique	Connecteur devicenet, connecteur DB - 9 broches, connecteur EtherCAT

Remarque :

Les contrôleurs de pression de gaz quittent généralement l'usine avec de l'azote (n₂), la Calibration.

L'unité de pression du gaz est spécifiée comme suit: Torr (Torr); Mbar (millibars); KPa (kilopascals);

L'état standard est spécifié comme suit: température - 273,15 K (0 °C); Pression d'air - - 101325 Pa (760 mm Hg)

Dans les produits PC électroniques de Huayi, les unités SCCM et "ml / min, 0 ° C, 1 atm" sont équivalentes et les unités SLM et "L / min, 0 ° C, 1 atm" sont équivalentes.

F.S. (Full scale): valeur de pleine échelle; S.P. (set point): valeur de consigne

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