Contrôleur de pression pc300

NégociableMise à jour sur01/07

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Vue d'ensemble

Le Contrôleur de pression pc300 est un contrôleur de pression avec une fonction de débitmètre complète, principalement utilisé dans le domaine des semi - conducteurs, par exemple dans le système de refroidissement de la face arrière de la plaquette, pour contrôler la pression du gaz de refroidissement à la face arrière de la plaquette de silicium, tel que l'hélium, l'azote, l'argon et d'autres gaz spéciaux.

Détails du produit

Points d'innovation

Produit entièrement numérique

Les produits adoptent le microprocesseur, avec l'avantage de l'intelligence élevée, de la fiabilité élevée et de l'entretien commode.

Technologie de double contrôle

Les produits utilisent la technologie de double contrôle, qui permet une réponse élevée, des indicateurs de performance de haute précision.

Domaines d'application

Semi - conducteurs - circuits intégrés

Semi - conducteurs - encapsulation

Affichage semi - conducteur

Éclairage semi - conducteur

Semi - conducteurs - microsystèmes électromécaniques

Semi - conducteurs de puissance

Semi - conducteurs composés

indicateurs techniques

modèle	du PC300
Débit à pleine échelle	(10 20 50 100 200 500 5000)SCCM
Pression pleine échelle	(10 20 50 100) Torr
Mode de contrôle	En aval
Précision du contrôle de pression	±0,2 % de F.S.
Contrôle de la répétabilité	±0,2 % de F.S.
Temps de réponse	<1.0 seconde
Plage de température de fonctionnement	10 ℃ à 50 ℃
Type de valve	Normalement fermé
Taux de fuite	< 1x10^-12(SCC/SEC He)

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