Agent logosol instrument optique de pré - Alignement

Agent logosol instrument optique de pré - Alignement

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États - Unis logosolPré - aligneurIl s'agit d'un dispositif hautement intégré, principalement utilisé pour le pré - alignement des plaquettes lors de la fabrication de semi - conducteurs. Les pré - aligneurs sont généralement intégrés dans des dispositifs ou des systèmes plus grands tels que des applicateurs de colle, des machines de lithographie, des dispositifs de dépôt de films minces et des dispositifs de gravure, entre autres, pour un alignement rapide et précis des plaquettes avant le début du processus.

Principaux modèles et caractéristiques

La gamme de pré - aligneurs logosol comprend plusieurs modèles, chacun avec son propre scénario d'application et ses caractéristiques techniques:

• ‌LPA26-3̸: convient pour l'alignement de haute précision des plaquettes de petite taille.

• ‌LPA38-3̸: convient pour un alignement efficace des plaquettes de taille moyenne.

• ‌LPA58-3̸: convient pour l'alignement de haute précision de plaquettes de grande taille.

• ‌LPA312-3‌: convient pour l'alignement de plaquettes de très grande taille.

• ‌LPA812-3̸: convient pour l'alignement de haute précision de disques de grande taille.

• ‌LPA1218-3‌: convient pour l'alignement de plaques de très grande taille.

Ces pré - aligneurs prennent en charge une large gamme de tailles de plaquettes de 45 à 480 mm, adaptées à différents besoins de processus.

Caractéristiques techniques et avantages

Les caractéristiques techniques du préaligneur logosol comprennent:

• ‌Hautement intégré‌: Économisez de l'espace, partagez le système de contrôle avec l'appareil principal pour un amarrage sans faille.

• ‌Haute précision: convient aux processus de haute précision pour assurer un alignement précis du Centre et de la direction cristalline de la plaquette.

• ‌Logiciel de contrôle multifonctionnelPrise en charge de la compatibilité et de l'interface avec diverses plates - formes semi - conductrices.

• ‌Positionnement rapide‌: permet un positionnement rapide et précis des plaquettes dans les lignes de production à grande vitesse.

Agent logosol instrument optique de pré - Alignement

scénario d'application

Les pré - aligneurs logosol sont largement utilisés dans les équipements semi - conducteurs suivants:

• : assurer un alignement précis du Centre et de la direction cristalline de la plaquette avant le processus de lithographie.

• ‌Équipement de développement de colle‌: garantir la cohérence de la position de la plaquette pendant le collage et le développement.

• ‌Équipement de dépôt de film mince‌: assurer l'alignement de la plaquette avec la cavité de réaction avant le processus de dépôt.

• ‌Équipement de gravure‌: garantir un alignement précis de la position et de l'angle de la plaquette dans le processus de gravure.

Préaligneur de plaquettes logosol lpa38 - 3 - v40p1 - S23