Rie machine de Gravure ionique réactive

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Vue d'ensemble

CIF lance la machine de gravure d'ions réactifs rie, qui utilise la méthode d'excitation induite par les ions réactifs rie pour réaliser la gravure microstructurale de l'anisotropie de la surface du matériau. Particulièrement adapté pour les universités, les instituts de recherche scientifique, la microélectronique, les laboratoires d'entreprise de semi - conducteurs pour effectuer la gravure de médias, la gravure de silicium, la gravure de métal et d'autres aspects de la recherche. Faible coût d'utilisation, bon rapport qualité - prix, entretien facile, manipulation rapide et efficace. Les machines de Gravure ionique réactive rie conviennent à tous les substrats et géométries complexes pour la Gravure ionique réactive rie.

Détails du produit

CIF lance la machine de gravure d'ions réactifs rie, qui utilise la méthode d'excitation induite par les ions réactifs rie pour réaliser la gravure microstructurale de l'anisotropie de la surface du matériau. Particulièrement adapté pour les universités, les instituts de recherche scientifique, la microélectronique, les laboratoires d'entreprise de semi - conducteurs pour effectuer la gravure de médias, la gravure de silicium, la gravure de métal et d'autres aspects de la recherche. Faible coût d'utilisation, bon rapport qualité - prix, entretien facile, manipulation rapide et efficace.Rie machine de Gravure ionique réactiveConvient à tous les substrats et géométries complexes pour la Gravure ionique réactive rie.

Notamment:

◆ matériaux diélectriques (SiO2, SiNx, etc.)

◆ le pittoresque hongkuang, dit Xiao hongkuang, un étudiant de Xiao hongkuang, had been said.

◆ III - V matériel (GaAs, INP, Gan, etc.)

◆ métal de pulvérisation (au, PT, ti, ta, W, etc.)

◆ type diamant (DLC)

Domaines d'application:

Rie machine de Gravure ionique réactiveIl est principalement utilisé dans la R & D et la fabrication de dispositifs dans les domaines des puces microélectroniques, des cellules solaires, des biopuces, des écrans, de l'optique, des communications et autres.

Caractéristiques du produit

◆7 pouces couleur écran tactile chinois et anglais interface de fonctionnement interactive, contrôle automatique pour surveiller l'état des paramètres de processus, 20 programmes de formulation, les données de processus peuvent être stockées pour la traçabilité.

◆La machine de commande PLC contrôle l'ensemble du processus de nettoyage, deux modes de travail manuels et automatiques.

◆Corps de compartiment à vide, système de ligne de vide complet adopté 316 matériel d'acier inoxydable, résistance à la corrosion et aucune pollution.

◆Adopter un débitmètre numérique anticorrosion, Réaliser un contrôle précis de l'entrée de gaz. Livré en standard avec un système de transport de gaz à double voie, Multi - gaz en optionSystème de transport de gaz routier, Peut entrer de l'oxygène, de l'argon, Gaz tels que l'azote, le Tétrafluorure de carbone, l'hydrogène ou les mélanges gazeux.

◆Utilisant la méthode d'admission poreuse de fleur, changeant l'admission d'air unique inégaleBien le problème.

◆HEPA filtre à haute efficacité, purge de remplissage de gaz pour prévenir la pollution secondaire.

◆Conforme à la fonctionnalité humaineConception d'interface d'opération d'inclinaison de 60 degrés, facile à utiliser et interface conviviale.

◆Adopte la cabine à vide en tête, la conception du couvercle ouvert vers le haut, la charnière sous pression ouverteFermer la manière.

◆Modèle supérieurConception d'échantillon prise et sortie horizontale à 360 degrés, conforme à la fonctionnalité humaine, plus facile à utiliser.

◆Grande surface de traitement efficace, peut traiter le diamètre maximalPlaquette de silicium cristallin de 154 MM.

◆Protection de sécurité, portes de cabine ouvertes, arrêt automatique de l'alimentation, transport de la machineLignes, stop tips.

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