Microscope électronique à balayage par émission de champ à ultra haute résolution Regulus Series

NégociableMise à jour sur05/20

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Vue d'ensemble

Les modèles existants su8240, su8230, su8220 et su8010 ont été regroupés pour former les modèles regulus8240, regulus8230, regulus8220 et regulus8100. La série Regulus hérite des performances d'observation et d'analyse des modèles existants et est équipée d'un canon à électrons * 1 à faible bruit et à tir en champ froid de la série su8200 qui permet d'obtenir un flux de faisceaux très stable. Grâce à l'optimisation de l'optique électronique, la résolution des regulus8240 / 8230 / 8220 a été augmentée à 0,7 nm à 1 kV et celle du regulus8100 à 0,8 nm. De plus, pour tirer pleinement parti de la capacité de résolution ultra - haute, le grossissement a également été augmenté d'un million à deux millions de fois * 1. Le regulus8240 / 8230 / 8220 / 8100 a également perfectionné la fonction de soutien à l'utilisateur, grâce à laquelle il est plus facile pour l'utilisateur de comprendre le principe de détection de divers signaux complexes pour aider l'utilisateur à tirer le meilleur parti de l'instrument. * 1 regulus8240 / 8230 / 8220 uniquement

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Microscope électronique à balayage par émission de champ à ultra haute résolution Regulus Series

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超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列

Les modèles existants su8240, su8230, su8220 et su8010 ont été regroupés pour former les modèles regulus8240, regulus8230, regulus8220 et regulus8100.

La série Regulus hérite des performances d'observation et d'analyse des modèles existants avec le canon à électrons à faible bruit à champ froid de la série su8200^{* 1}, un flux de faisceau élevé et stable peut être obtenu.

Grâce à l'optimisation de l'optique électronique, la résolution des regulus8240 / 8230 / 8220 est augmentée à 0,7 nm à 1 kV et celle du regulus8100 à 0,8 nm.

En outre, pour tirer pleinement parti de la capacité de résolution ultra - élevée, le grossissement est également passé de 1 million à 2 millions de fois^{* 1}- Oui.
Le regulus8240 / 8230 / 8220 / 8100 a également perfectionné la fonction de soutien à l'utilisateur, grâce à laquelle il est plus facile pour l'utilisateur de comprendre le principe de détection de divers signaux complexes pour aider l'utilisateur à tirer le meilleur parti de l'instrument.

* 1: Regulus8240 / 8230 / 8220 uniquement

Caractéristiques
Spécifications

Caractéristiques

Pistolet électronique à tir à froid de la série su8200^{* 2}
L'utilisation d'une zone stable à haute luminosité apparaissant après le flashing du faisceau d'électrons comme intervalle d'observation stable permet des performances optimales d'observation et d'analyse à haute résolution dans des conditions de tension d'accélération faible
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
Adopter petit bac d'échantillon de pollution et de vide élevé
En utilisant le filtre énergétique (en option), vous pouvez observer de nombreux contrastes de composition^{* 2}

Observation haute résolution à très basse tension d'atterrissage

极低着陆电压下高分辨观察
Échantillon: particules d'or
Tension d'atterrissage: 10 V

Observation très haute résolution

超高分辨观察
échantillon: Pt Catalyst
Tension d'accélération: 30 KV

Analyse edX haute résolution à basse tension d'accélération

低加速电压下高分辨EDX分析
Échantillon: boule de SN
Tension d'atterrissage: 1,5 KV

* 2: Regulus8240 / 8230 / 8220 uniquement

Spécifications

Projets			Regulus 8100	Regulus 8220	Regulus 8230	Regulus 8240
Résolution électronique secondaire			0.7 nm (tension d'accélération 15 kV) 0.8 nm (tension d'atterrissage 1 kV)^{* 3}	0,6 nm (tension d'accélération 15 kV) 0,7 nm (tension d'atterrissage 1 kV)^{* 3}
Tension d'atterrissage			0.1～2 kV	0.01～20 kV
Grossissement			20 à 1 000 000 fois^{* 4}	20 à 2 000 000 fois^{* 4}
Table d'échantillons	Contrôle de la table d'échantillons		Table moteur 3 axes (table moteur 5 axes en option)	Entraînement moteur 5 axes
	Gamme de mouvement	X	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～110 mm
		Y	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～80 mm
		R	360°
		T	- 5 à 70°
		Z	1.5～30 mm		1.5～40 mm
	Reproductibilité		- Oui.	- Oui.	- Oui.	± 0,5 µm contenant ± 0,5 µm

* 3: Observation en mode décélération
* 4: Grossissement par rapport au négatif de 127 mm × 95 mm

Classification des produits associés

Système de faisceau ionique focalisé (FIB / FIB - SEM)
Unité de traitement pré - échantillon TEM / SEM

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