Vacuomètre rotatif

DosiTorr

Programme de mesure de pression sous vide ultra - propre, hautement durable et résistant à la corrosion

Principaux avantages:

• Peut remplacer directement la plupart des jauges d'ionisation (compatible 1: 1)

• Travail autonomeVacuomètre rotatif(SRG)

• Transmettre la précision de niveau standard

• Plage de mesure: 10 mbar à 5×10⁻⁷ mbar

• Sortie 100% linéaire

• Dérive « zéro » (< 1,5% / an)

• Résistance à la corrosion et aux dépôts

• Capteurs remplaçables

• Design ultra - propre / stérile

• Aucun composant électronique dans la cavité à vide

• Conception de la même durée de vie que l'équipement

• Alimentation 24VDC

• Sortie configurable 0 - 10vdc

Applications typiques:

• Remplacement de la jauge d'ionisation défectueuse

• Implantation ionique, gravure sèche

• Surveillance de l'isolation sous vide en ligne

Description technique

Dositorr est basé surVacuomètre rotatif(SRG) manomètres pour procédés technologiques. Sa conception minimaliste avec une sphère en acier inoxydable tournant par force électromagnétique, contrairement à la jauge pirani (conduction thermique) ou à la jauge d'ionisation (effet d'ionisation), n'a aucun effet sur le milieu testé et est idéale pour les environnements de processus de haute pureté. Même dans les environnements de processus corrosifs, dositorr maintient des mesures de haute précision stables à long terme grâce à la résistance naturelle des capteurs SRG aux dépôts et à la corrosion.

Avantages du procédé technique SRG

La haute précision et la stabilité à long terme de la technologie SRG ont fait leurs preuves depuis de nombreuses années dans le domaine de l'étalonnage des jauges à vide, comme l'étalonnage des jauges d'ionisation. Aujourd'hui, la technologie se présente sous la forme de capteurs de processus autonomes:

• Ultra haute précision: ± 1% de lecture dans la plage de 0,1 mbar à 1 × 10⁻⁶ mbar

• Lecture de pression 100% linéaire (indépendamment du type de gaz)

• Stabilité à long terme: taux de dérive annuel < 1,5%

• Capteur en acier inoxydable résistant à la corrosion et au dépôt

• Mesure sûre et propre: aucune pollution / aucun rayonnement thermique / aucun effet ionisant

Conception améliorée d'adaptation de processus:

• Blindage magnétique: résistant aux interférences des champs magnétiques externes

• Système de suspension magnétique renforcé: fiabilité accrue des mesures

• Capteur de température intégré: compensation automatique de dérive thermique

• Vitesse de rotation plus élevée: réduit la sensibilité aux vibrations

Principes techniques SRG

Vacuomètre rotatif(SRG) Calcule la pression du vide en mesurant le taux de décélération à partir de l'effet de décélération du rotor résultant de l'adsorption - désorption des molécules de gaz. Le système contient trois composants principaux:

1. Composants du capteur

• Sphère magnétique en acier inoxydable (noyau du capteur)

• Installé dans un manchon reliant le système de vide

2. Composants de la tête de mesure

• Lévitation / accélération / mesure par champs électromagnétiques

• Externe au système de vide

3. Unité de contrôle électronique

• Contrôle des capteurs et traitement du signal

Famille de produits

Plusieurs options de configuration sont disponibles pour répondre aux différents besoins de processus: