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4e étage, bâtiment No.2, bâtiment zhongkokoyu, No.13 beijijo, village de Zhongguancun, district de Haidian, Beijing
Beijing zhongkokoyi optoélectronique Technology Co., Ltd
4e étage, bâtiment No.2, bâtiment zhongkokoyu, No.13 beijijo, village de Zhongguancun, district de Haidian, Beijing
Caractéristiques principales
1, processus de pulvérisation fin à froid par la tête de commande magnétique à courant continu à basse pression à haute efficacité, évitant la surface de l'échantillonEndommagé.
2,Opération facile et rapide, Les paramètres contrôlés comprennent le dégonflage ainsi que l'argonContrôle de la ventilation.
3,Le contrôle numérique du courant de placage par pulvérisation n'est pas affecté par la pression atmosphérique dans la Chambre de l'échantillon,Un taux de revêtement constant et un effet de revêtement optimal peuvent être obtenus.
4,Plusieurs cibles métalliques peuvent être utilisées:Au,Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au La cible est standard), Le changement de cible est rapide et facile.
Paramètres techniques
Système de pulvérisation | |
Les cibles |
AuLa cible est standard, optionnel Pt, diamètre 57 mm x 0,1 mmÉpaisseur |
Table d'échantillon standard |
Peut être chargé 12 un SEM Siège d'échantillon, gamme réglable en hauteurPour 60 mm |
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Table d'échantillon inclinable rotative (en option) |
Vitesse de rotation: 0 ~ 60rpmRéglable en continu, angle d'inclinaison: -90 °~ 90° réglable en continu; Cavité en acier inoxydable: diamètre 120 mm X Haute 75 mm; Fenêtre d'observation: diamètre 120 mm X Haute 45 mm; Diamètre de la table tournante standard 40 mm, peut être placé 4 Une table d'échantillon standard, D'autres spécifications peuvent être commandées Faire; Avec un double dispositif de verrouillage, Garantit que l'échantillon ne se détache pas lorsqu'il est incliné en rotation Tomber. |
Courant de pulvérisation |
Contrôle par microprocesseur, Sécurité interlock, réglable, courant 5~30mA, contrôle numérique programmatique |
Table de mesure |
Le vide: ATM - 1 * 10-3 mbar, le courant: 0 à 99mA |
Méthodes de contrôle |
Avec Contrôleur de microprocesseur pour le bouton "start" (1–999s),Extraction automatique, éclaboussures Dégonflage automatique après tir, arrêt. |
Système de vide | |
Taux d'extraction |
133L/min |
Le vide extrême |
10-4 mbarNiveau |
Le bruit |
56 dB |