Sr - Mapping Épaisseur de film réfléchissant

I. Aperçu

SR-MappingAppareil d'épaisseur de film réfléchissantsérieUtilisant le principe de l'interférence réfléchie pour la mesure non destructive, en analysant la lumière réfléchie sur la surface du film mince et le spectre de réflexion formé par l'interférence du film mince avec la phase lumineuse réfléchie de l'interface de base, en même temps que la table de déplacement R - Theta, compatible avec les échantillons de 6 à 12 pouces, peut effectuer un balayage rapide de l'échantillon entier, mesurer rapidement et précisément l'épaisseur du film mince, la constante optique et d'autres informations, et évaluer l'uniformité de l'épaisseur du film.

■Solutions optiques de mesure de film mince;

■ mesure sans contact et sans destruction;

■ l'algorithme de base prend en charge l'analyse de film mince à film épais, monocouche à film multicouche;

■ précision de mesure de répétabilité d'épaisseur de film: 0.02nm

■ mesure entièrement automatique, le nombre de points de mesure et la position peuvent être modifiés selon les besoins dans Recipe

■Utilisant la source lumineuse de lampe halogène de haute intensité, le spectre couvre la gamme visible UV au proche infrarouge;

■ adoptez la conception intégrée photomécatronique hautement intégrée, petite taille, opération facile;

■ basé sur le principe d'interférence de phase lumineuse réfléchie entre l'interface supérieure et l'interface inférieure de la couche mince, résolvez facilement un film mince monocouche à plusieurs couches;

■Configuration d'algorithmes d'analyse de base puissants: FFT analyse des films épais, analyse d'ajustement de courbe analyse des informations sur les paramètres physiques des films minces;

Iii. Application du produit

Largement utilisé dans divers médias film de protection, film organique, film inorganique, film métallique, revêtement et autres mesures de film mince- Oui.

Paramètres techniques