Système PECVD de plasma de zone de température unique de technologie de poêle de moufle de Shanghai

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Vue d'ensemble

Le mflpecvd408 - 12 est un système de four tubulaire pour système PECVD. Composé de four tubulaire sous vide, alimentation RF, système d'alimentation en gaz, système de vide. La température maximale peut atteindre 1200 degrés, en utilisant un instrument de contrôle de la température de programme de 30 segments, un thermocouple de type K, le foyer est en fibre céramique d'alumine de haute pureté, cet appareil peut être utilisé pour faire pousser des Nanofils ou préparer divers films avec la méthode CVD.

Détails du produit

Un,Description du produit

Deux,Caractéristiques du produit

1, changer le gaz dans la chambre à vide de quartz à l'état ionique par l'alimentation RF.
2, la température requise pour le dépôt chimique en phase vapeur de PECVD est plus basse que le CVD normal
3, la taille de contrainte du film déposé peut être contrôlée par la fréquence de l'alimentation RF
4, PECVD que CVD ordinaire pour le taux de dépôt chimique en phase vapeur élevé, bonne uniformité, cohérence et stabilité.
5, largement utilisé dans: la croissance de divers films minces, tels que: SiOx, SiNx, sioxny et silicium sans conformation (A - si: h), etc.

II. Paramètres techniques

Modèle d'équipement	MFLPECVD408-12
Four tubulaire	Gamme de température contrôlée	Température ambiante - 1200℃
	température de fonctionnement	≤1100℃
	Longueur de la zone de chauffage	400 mm
	Tube de quartz	Diamètre 80mm, longueur 1400mm (diamètre de tube optionnel 50, 60100)
	Précision du contrôle de la température	＜1000 ±0.1℃ ； ≥1000±1℃
	Fluctuations de température constantes	± 1 ℃ (1000 ℃ pour le point d'essai)
	Vitesse de réchauffement	Recommandé moins de 1000 degrés ≤ 10 ℃ / min, la vitesse de montée en température la plus rapide ≤ 30 ℃ / min
	Vitesse de refroidissement	Au - dessus de 700 ℃ ≤ 10 ℃ / min
	Température de table de four	Température de surface du corps du four inférieure à la température ambiante + 10 (point de mesure de 1000 ° c)
	Élément thermométrique	Thermocouples de type K
	Mode de contrôle de la température	Contrôle PID flou et réglage d'auto - ajustement, commande programmable intelligente à 30 segments avec fonction d'alarme de couple de coupure ultra - douce
	Puissance de tension	220V 3KW
Système d'alimentation en gaz	Canal de route de gaz	4 voies
	Contrôle du débit des voies de gaz	Régulateur de débit protonique (débitmètre à sept étoiles)
	Précision du contrôle	±1,5 % F.S.
	Précision de répétition	±0,2 % F.S.
	Gamme de flux	1 à 500 SCCM
	Manomètre mécanique	Un morceau de manomètre mécanique dans le panneau, et la gamme de connexion d'irrigation de mélange: - 0.1 ~ 0.15 MPA



Système de vide Option I (vide faible: pompe mécanique)	alimentation	220V
	Degré de vide limite	5 x 10^-1Pa
	Taux d'extraction	2 litres / seconde
	Valve de clapet à vide	KF25
	modèle	VRD-8
	Puissance du moteur	0,4 kW
Système de vide Schéma II (vide élevé: pompe mécanique + unité de pompe moléculaire)	modèle	GZK-16-600
	alimentation	AC100-240 50/60HZ
	puissance	1 kilowatt
	poids	25 kg
	Pression limite	*1,0 10-4Pa**
	Interface d'admission, d'échappement	le KF40
	Débit maximal du refroidisseur d'eau	10L/min
	Compteur de vide	Vacuomètre Composite
	Le videPrécision du contrôle	± 1%
	Gamme de mesure du vacuomètre	1,0x10 - 1,0x10-5pa
alimentation (générateur de plasma)	Gamme de puissance de sortie	0 à 500W
	Stabilité de puissance	≤±5W
	Fréquence de travail	Radiofréquence:13,56MHZ ± 0,005 %
	Méthode de Matching	automatique
	Mode de refroidissement	Refroidissement par air
	bruit	< 50dB







sécurité	Environnement de travail	RT ± 5-40 ℃
	Garantie d'utilisation	Alarme de surchauffe d'ouverture de porte protection contre les fuites protection contre les surchauffes




	Four tubulaire	Une
Liste d'usine	Système de vide	un ensemble
	Système d'alimentation en gaz	un ensemble
	Puissance RF	un ensemble
	Gants haute température	Caston une paire
	Four à cocher	Une poignée de
	Trachée	Une racine
	Instructions pour l'équipement	Une part de
	Instructions pour instruments	Une part de
	Carte de garantie	Une part de
Sélection d'achats	Plaque de cuisson mobile	acier inoxydable
Sélection d'achats	Instrument intelligent à écran tactile	50 segments de programmation, peut réaliser la connexion avec l'ordinateur. Effectuez le contrôle à distance avec un ou plusieurs fours électriques, le suivi en temps réel, l'historique, les rapports de sortie et bien plus encore grâce à un système de contrôle informatique dédié.

Remarque: diamètre du tube facultatif: 50 / 60 / 80 / 100 / 120 / 150 / 200 / 300 mm,

La zone chaude peut faire la zone à double température, la zone à triple température et d'autres zones Multi - températures,

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