Valve à vide Swiss vat - unité multivalve à vide

Valve à vide Swiss vat - unité multivalve à vide

Swiss VAT est un fabricant de vannes à vide, spécialisé dans la conception et la production de vannes à vide de haute précision, les produits sont largement utilisés dans les semi - conducteurs, le photovoltaïque, les écrans plats, la recherche scientifique et d'autres domaines, connus pour leur haute fiabilité, leur longue durée de vie et leurs performances d'étanchéité.

1. Contexte de l'entreprise

Swiss VAT est un fabricant de vannes à vide, spécialisé dans la conception et la production de vannes à vide de haute précision, les produits sont largement utilisés dans les semi - conducteurs, le photovoltaïque, les écrans plats, la recherche scientifique et d'autres domaines, connus pour leur haute fiabilité, leur longue durée de vie et leurs performances d'étanchéité.

2. Série de produits de base

(1) produits à Valve unique

• Modèles de sériePour:

• Valve d'angle(par exemple, série TVA 54): idéal pour les environnements à vide élevé (Hv) et ultra - haut vide (UHV).

• Valve à passage direct(par exemple, série VAT 47): conception à faible résistance à l'écoulement, idéale pour une aspiration rapide.

• Valve de porte(par exemple, série TVA 19): étanchéité métallique, résistant aux températures élevées (jusqu'à 450 ° c) pour une utilisation dans les Chambres de processus semi - conducteurs.

• Valve de régulation: contrôle précis du débit de gaz pour la régulation de la pression du processus.

• Paramètres techniquesPour:

• Taux de fuite: < 10⁻⁹ mbar·l / S (joint métallique).

• Matériel: acier inoxydable, alliage d'aluminium, surface nickelée ou polie électrolytiquement.

• Mode d'entraînement: pneumatique, électrique ou manuel.

Systèmes Multi - valve (Multi - valve Systems)

• Caractéristiques de conceptionPour:

• Intégration de plusieurs Vannes (par exemple, vanne d'isolement, vanne de soutirage latérale, vanne de pompe principale) dans un seul module pour simplifier la configuration du système de vide.

• Conception modulaire avec prise en charge de combinaisons personnalisées (telles que vat lockfast) ® Série).

• Réponse rapide (le temps de commutation peut être aussi bas que 50ms).

• Applications typiquesPour:

• Isolation Multi - chambres pour dispositifs de gravure / dépôt de semi - conducteurs.

• Commutation du chemin du vide pour les systèmes de revêtement photovoltaïque.

3. Avantages techniques de base

• Technologie d'étanchéitéPour:

• Le joint métallique (sans matériau élastique) convient aux températures élevées et aux environnements corrosifs.

• Les joints élastiques (tels que le caoutchouc fluoré) sont utilisés pour des applications économiques.

• Système d'entraînementPour:

• L'actionneur pneumatique est livré en standard avec une conception antidéflagrante et l'actionneur électrique prend en charge le contrôle PLC.

• Contrôle intelligentPour:

• Prend en charge les protocoles industriels tels que PROFINET, EtherCAT, etc. pour surveiller l'état des vannes en temps réel.

4. Domaines d'application typiques

• Fabrication de semi - conducteurs: Chambre de transfert de plaquette, équipement de gravure.

• Industrie photovoltaïque: PECVD, isolation sous vide des équipements ald.

• Appareils de recherche scientifique: source de rayonnement synchrotron, accélérateur de particules.

• Vide industriel: machine de revêtement, équipement de traitement thermique.

5. Référence de sélection

• Paramètres clésPour:

• Dimensions du diamètre de passage (dn16 à dn400).

• Plage de pression (de la pression atmosphérique à 10⁻¹⁰ mBar).

• Gaz compatibles (gaz corrosifs / inertes).

• Normes de certificationPour:

• Semi F47 (norme de résistance aux fluctuations de tension pour les équipements à semi - conducteurs).

• Certifié ce / UL.

6. Services et soutien

• Conception personnalisée, livraison rapide et support technique mondial.

• Outils de configuration en ligne tels que vat configurator options auxiliaires.

Valve à vide Swiss vat - unité multivalve à vide