Système d'analyse des impuretés traces dans les gaz semi - conducteurs

NégociableMise à jour sur02/03

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Vue d'ensemble

Avec les progrès de la technologie des semi - conducteurs et l'application de plus en plus active des lasers à semi - conducteurs dans les domaines de la communication, du traitement de l'information, etc., la variété et la quantité de gaz spéciaux utilisés dans le processus de fabrication ne cessent d'augmenter. Ce système utilise la chromatographie en phase gazeuse, qui peut détecter automatiquement les impuretés et les composants traces dans le gaz du matériau semi - conducteur.

Détails du produit

Germane mesurable (GeH), phosphine (PH), arsane (AsH), dichlorosilane (DCS), Trichlorosilane (TCS), composants d'impuretés dans les gaz isosemi - conducteurs.

Une détection automatique de haute précision (facile à utiliser) est possible grâce à un chromatographe en phase gazeuse haute performance.

Hydrogène détectable (H2), oxygène (O2), d'azote (N2), méthane (CH4), monoxyde de carbone (CO), CO2 (CO2),C2Composants,C3Les impuretés telles que les composants.

Germane mesurable (GeH), phosphine (PH), arsane (AsH), dichlorosilane (DCS), Trichlorosilane (TCS), composants d'impuretés dans les gaz isosemi - conducteurs.

Une détection automatique de haute précision (facile à utiliser) est possible grâce à un chromatographe en phase gazeuse haute performance.

Hydrogène détectable (H2), oxygène (O2), d'azote (N2), méthane (CH4), monoxyde de carbone (CO), CO2 (CO2),C2Composants,C3Les impuretés telles que les composants.

Germane mesurable (GeH), phosphine (PH), arsane (AsH), dichlorosilane (DCS), Trichlorosilane (TCS), composants d'impuretés dans les gaz isosemi - conducteurs.

Une détection automatique de haute précision (facile à utiliser) est possible grâce à un chromatographe en phase gazeuse haute performance.

Hydrogène détectable (H2), oxygène (O2), d'azote (N2), méthane (CH4), monoxyde de carbone (CO), CO2 (CO2),C2Composants,C3Les impuretés telles que les composants.

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