Machine de bureau à double photon

La machine de table à deux photons a une très grande précision d'usinage et est capable de contrôler avec précision la zone de réaction de la colle photolithographique, assurant la clarté du motif et la fidélité des détails. En raison du caractère non linéaire de la technologie de lithographie à deux photons, la colle photolithographique ne réagit que dans la zone focale du faisceau laser, ce qui rend le processus de lithographie très sélectif et permet d'éviter efficacement la lumière diffusée et l'efficacité thermique face à l'influence de la zone environnante.

　　I. principe de fonctionnement

La machine de bureau à deux photons est basée sur la technologie de lithographie à deux photons qui permet un traitement précis à l'échelle nanométrique en contrôlant avec précision la position de mise au point et l'intensité du laser. Son principe de fonctionnement comprend principalement les étapes suivantes:

1. Principe de lithographie à deux photons

La lithographie à deux photons est une technique qui utilise un laser pour déclencher une réaction chimique d'un matériau par effet d'absorption à deux photons. Contrairement à la lithographie mono - Photonique traditionnelle, la lithographie à deux photons repose sur l'effet de focalisation des photons dans une zone locale, absorbant simultanément deux photons de faible énergie au point focal du matériau photosensible, ce qui permet au matériau de réagir chimiquement. En raison du caractère non linéaire de cet effet, le matériau photosensible ne réagit que sous une irradiation laser de haute intensité au point de focalisation, permettant la gravure ou la réticulation des zones microscopiques.

2. Conception Desktop

Les dispositifs traditionnels de lithographie à deux photons sont volumineux, coûteux et nécessitent souvent une utilisation en laboratoire ou dans un atelier spécialisé de micro et Nanofabrication. Et l'innovation de la machine de bureau à deux photons est qu'elle combine la technologie de lithographie à deux photons avec une conception Desktop, ce qui rend l'équipement plus miniaturisé et plus facile à utiliser. Il utilise une source de lumière laser de haute précision et une plate - forme de mouvement pour une impression 3D et une lithographie efficaces et précises grâce à un système optique sophistiqué et à un système de contrôle informatique.

3. Balayage laser et contrôle optique

Le composant principal est un système de balayage laser de haute précision qui effectue une exposition précise sur la surface de la photocolle en contrôlant l'intensité du faisceau laser et la position du point de focalisation. Dans le travail réel, le système de contrôle informatique ajuste le chemin de balayage du laser et la puissance du faisceau laser en fonction des besoins de l'utilisateur, permettant une gravure de motif de haute précision ou l'impression de structures tridimensionnelles.

　　II. Caractéristiques principales

Le concept de conception et les caractéristiques techniques lui confèrent un avantage unique dans le domaine de la micro et Nanofabrication, qui se manifeste principalement dans les domaines suivants:

1. Super haute résolution

L'une des caractéristiques distinctives est sa haute résolution. Comme la lithographie à deux photons repose sur l'effet de focalisation du faisceau laser, sa résolution graphique peut atteindre le niveau nanométrique et même atteindre une précision d'usinage inférieure à 10 nanomètres. Cela permet aux machines de bureau à deux photons de représenter avec précision des structures tridimensionnelles complexes dans un espace réduit, adapté à la fabrication de dispositifs micro - optiques ultra - petits, de systèmes micro - électromécaniques (MEMS), de capteurs miniatures, etc.

2. Capacité de traitement 3D

Capable d'usiner dans un espace tridimensionnel. En contrôlant précisément la position de focalisation du faisceau laser, la gravure des motifs peut être réalisée à différents niveaux, ce qui permet de réaliser des microstructures tridimensionnelles complexes. Qu'il s'agisse d'éléments optiques de forme stéréoscopique ou de capteurs miniatures complexes et de puces microfluidiques, une fabrication tridimensionnelle précise est possible.

3. Haute précision et haute sélectivité

La machine de table à deux photons a une très grande précision d'usinage et est capable de contrôler avec précision la zone de réaction de la colle photolithographique, assurant la clarté du motif et la fidélité des détails. En raison du caractère non linéaire de la technologie de lithographie à deux photons, la colle photolithographique ne réagit que dans la zone focale du faisceau laser, ce qui rend le processus de lithographie très sélectif et permet d'éviter efficacement la lumière diffusée et l'efficacité thermique face à l'influence de la zone environnante.

4. Haute photosensibilité et faible consommation d'énergie

La Haute photosensibilité de la colle de lithographie à deux photons permet à la machine de table à deux photons de réaliser un usinage de haute précision à faible puissance laser, ce qui réduit non seulement la consommation d'énergie, mais également l'effet thermique sur la colle de lithographie. En outre, la faible consommation d'énergie permet de maintenir une faible élévation de température pendant de longues périodes de fonctionnement, améliorant la stabilité et la durée de vie de l'appareil.

5. Desktop opération et simplicité

La conception Desktop le rend idéal pour une utilisation dans de petits environnements tels que les laboratoires, les centres de R & D, les espaces de fabrication, etc. Les utilisateurs peuvent opérer via une interface graphique, sans équipement spécialisé complexe ni compétences opérationnelles, ce qui réduit considérablement le seuil de fonctionnement. Cela a permis à la lithographie à deux photons de ne plus être limitée au domaine de la recherche, et aux ingénieurs et chercheurs ordinaires de l'utiliser pour la conception innovante et la fabrication de prototypes.