Interrupteur de pression sous vide vs100

NégociableMise à jour sur01/07

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Vue d'ensemble

Le pressostat à vide vs100 utilise un capteur de pression piézorésistif pour détecter les variations de pression du milieu, comparer avec des points d'action de pression prédéfinis, convertir la pression en un signal de quantité de commutation. Application dans le domaine des circuits intégrés, de l'encapsulation, de l'éclairage à semi - conducteur, des semi - conducteurs de puissance, des semi - conducteurs composés.

Détails du produit

Points d'innovation

Le point de pression d'action peut être réglé pour réduire efficacement les types de matériaux et les catégories d'inventaire des clients

Le réglage du point d'action de pression comprend 75 à 735torr, 20 à 990torr, etc.

Haute précision

Peut remplacer les interrupteurs à vide mécaniques traditionnels.

Domaines d'application

Semi - conducteurs - circuits intégrés

Semi - conducteurs - encapsulation

Éclairage semi - conducteur

Semi - conducteurs de puissance

Semi - conducteurs composés

indicateurs techniques

modèle	VS100
Réglage de l'échelle et du point d'action de pression	Gamme de mesure	Réglage du point d'action de pression
	Surpression 750torr	75 - 735 Torr
	Surpression 1000torr	20 - 990 Torr
	Pression - 750 à 750 Torr	- 150 - 110 Torr
	Remarque: la valeur de consigne du point d'action de pression est généralement de 1% * FS ~ 99% * FS
Paramètres par défaut	Les modèles universels sont par défaut: alarme de limite supérieure, point d'action 99% FS, hystérésis 2% fs. La synchronisation nécessite l'utilisation d'un logiciel et d'un câble spécifiques fournis par le fournisseur. Le modèle personnalisé de la direction d'alarme de l'équipement, le point d'action, l'hystérésis, déjà sur demande, dans l'usine pour compléter le réglage pertinent.
Précision	±0,5 % FS
Taux de fuite	< 1x10^-9atm.cc/sec Il
Coefficient de dérive thermique	0,1 % FS/℃
Plage de température de fonctionnement	0～80℃
Limite de résistance à la pression	2 fois la pression nominale
Pression d'éclatement	5 fois la pression nominale
Matériaux côté processus	316L Ss SEMI F20/Hastelloy C-276
Tension d'alimentation	24V ± 10 % VDC
sortie	Lorsque la sortie du relais de contact passif (1no, 1nc) n'est pas alimentée, no est ouvert et NC est fermé
Interface électrique	Ligne de dispersion / db9 male
Mode de réglage des points d'action	Configuration pré - usine / configuration du client
type d'interface	1.125 "C-joint / 1.125" W-joint / 4VCR / KF25 (NW25) / KF16

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