▶ Joint métal sur métal pour un service sans fuite dans la gamme de vide à haute pression ▶ Petit volume intérieur pour purger complètement le canal d'écoulement ▶ Conception de siège de valve entièrement enveloppée avec une résistance supérieure à l'expansion et à la pollution ▶ Membrane en alliage Nickel - cobalt pour plus de durabilité et de résistance à la corrosion ▶ La rugosité standard est ra0,25 µm (classe Ba), ou le polissage électrolytique ra0,13 µm (classe EP) est facultatif ▶ Taux de fuite d'essai de l'hélium < 1 × 10 - 9 STD cm3 / s ▶ Actionneurs pneumatiques disponibles ▶ La vie de valve pneumatique peut atteindre 3 millions de fois