Système de détection rapide des particules à la surface de la plaquette (PDS)

FastmicroSystème de détection rapide des particules à la surface de la plaquette (PDS)

FastmicroSystème de détection rapide des particules à la surface de la plaquette (PDS)Conçu pour la mesure directe des contaminants de particules de surface de divers produits industriels, il est principalement utilisé dans le domaine des semi - conducteurs pour la détection de plaquettes, de films et de masques, mais peut également être utilisé pour la détection de substrats tels que le marché de l'affichage. Le système est équipé d'une zone de balayage de champ de vision (FOV) de 4 à 12 pouces qui prend en charge la détection des surfaces supérieures et inférieures. Sa conception optique permet au produit de terminer la détection sans avoir à se déplacer pendant le processus de métrologie. Le système peut être personnalisé en fonction des différentes exigences du processus de production ou directement intégré à la ligne de production.

Mesure de conformité pendant la production

Rapide:Capable de réaliser des images de grande surface en quelques secondes

Quantitativement:Validation et suivi adaptés aux environnements de production et de R & D

Opération facile:Pas affecté par les opérateurs, automatisation, méthode de capture propre

Précision:Mesure haute résolution (quantité, position, taille)

Cohérence:Chaque mesure reste objective et stable

Haut débit:Peut obtenir des résultats dans la fenêtre de temps de processus

FM - PDS: détection directe des particules de surface

Le système peut être utilisé pour les processus de fabrication de plaquettes, les semi - conducteurs composés de la prochaine génération et l'excellente EncapsulationPour fournir des services de détection de pollution par particules de surface à haut débit.

Le système a une taille de particules supérieure à 0,1et μmLes particules ont une sensibilité élevée, est unEfficacité et choix des services.

Il peut fonctionner de manière manuelle ou automatique, etCoûts de maintenance réduits, remplaçant les systèmes de détection de particules traditionnels.

Propriétés du système PDS pour les applications de production de semi - conducteurs de nouvelle génération: double face identiqueScan temporel (en option);

Balayage statique du champ de vision (pas besoin de déplacer le produit pendant l'acquisition de l'image).

Plateforme modulaire multifonctionnelle

Les systèmes peuvent être personnalisés pour s'adapter à chaque processus de certification de production ou intégrés dans une ligne de production. Sa configurationComprend manuel ou automatique Wafer grab mobile, package ouvert pour la détection et le nettoyageÉquipement, équipement de remplissage, bras robotisés, unités de détection, ainsi que l'équipement de nettoyage.

Le système peut être personnalisé et étendu selon les besoins du client. Module de mesure également disponible en sérieLes intégrateurs unifiés et les fabricants d'équipement d'origine (OEM) offrent des services d'étiquetage.