plaquette débit ThetaInstrument de mesure de l'angle de contact de la plaquetteEst un instrument de mesure d'angle de contact entièrement automatique haut de gamme. L'instrument comprend l'unité principale de mesure de l'angle de contact optique Theta flow, Configurable avec quatre gouttières automatiques à commande logicielle, déplaçables horizontalement et pouvant être abandonnées, ainsi qu'un banc d'échantillons XYZ entièrement automatique avec rotation automatique.
La mesure de l'angle de contact sur une plaquette est essentielle pour évaluer la mouillabilité et les propriétés de surface de ces matériaux, qui sont largement utilisés dans la fabrication électronique. En évaluant l'angle de contact des gouttelettes avec la surface de la plaquette, les chercheurs peuvent obtenir un aperçu de l'énergie de surface et des propriétés d'adhérence du silicium. Ces informations sont essentielles pour optimiser les processus tels que le revêtement, la lithographie et le collage dans la fabrication de semi - conducteurs. La connaissance des angles de contact permet d'assurer l'interaction attendue entre la plaquette et les différents matériaux utilisés dans le processus de production, améliorant ainsi les performances et la fiabilité de l'électronique.
Instrument de mesure de l'angle de contact de la plaquetteApplication
• Étudier la propreté des surfaces
La mesure de l'angle de contact permet d'évaluer la propreté de la plaquette et donc l'élimination des contaminants et résidus de surface.
• Déterminer l'énergie libre de surface
En mesurant l'angle de contact, l'énergie libre de surface peut être déduite, ce qui est essentiel pour comprendre comment d'autres matériaux interagissent avec la plaquette.
• comprendre les propriétés adhésives
L'angle de contact aide à déterminer les propriétés d'adhérence des revêtements et des films appliqués sur la plaquette.
• Recherche hydrophilie / hydrophobicité
La mesure de l'angle de contact permet de déterminer si la surface de la plaquette est hydrophile ou hydrophobe, ce qui affecte les processus tels que la lithographie et la gravure.
• pour le contrôle qualité
Des mesures régulières de l'angle de contact peuvent être effectuées dans le cadre du processus de contrôle de la qualité afin d'assurer la cohérence du traitement et de la manipulation de la plaquette.
Fonctions logicielles supportant la mesure de l'angle de contact du Wafer
• Mode Batch pour des mesures rapides sur une rangée de plusieurs plaquettes.
• Méthode de gouttes de siège standard pour une analyse plus approfondie.
Plaque tournante automatique
La table d'échantillonnage de plaquettes de la série Theta est une plate - forme motorisée commandée par logiciel pour faire pivoter les plaquettes afin d'obtenir des mesures de positionnement automatique des angles de contact pour des plaquettes jusqu'à 12 pouces de diamètre.
La série de tables d'échantillons de plaquettes Theta comprend une table rotative (t340r) et une table de plaquettes (t340rw). Les broches sur les comptoirs de la plaquette contribuent à l'alignement et au positionnement de haute précision de la plaquette. Les pions de positionnement aident également à maintenir la plaquette en place pendant la mesure. Pour fixer davantage la plaquette, il est également possible de la connecter à une pompe à vide par un orifice de connexion à vide intégré.
Les bancs d'échantillons de plaquettes de la série Theta sont connectés aux bancs d'échantillons XYZ automatiques et peuvent positionner automatiquement des plaquettes jusqu'à 12 pouces de diamètre. Pour maximiser les performances de la table tournante, il est recommandé de l'utiliser en combinaison avec quatre goutteurs à tête de goutte jetable. Cela permettra d'effectuer automatiquement des mesures d'énergie libre de surface ou d'augmenter le nombre de mesures successives avec de l'eau uniquement.
