Le microscope électrique à balayage par spectroscopie en temps réel est un type de microscope électronique à balayage intégré avec la technologie d'analyse spectrale, capable d'acquérir la topographie de surface de l'échantillon et les informations de composition des éléments en temps réel, avec des avantages tels que la haute résolution, l'analyse multimodale, l'opération facile et D'autres, largement utilisés dans la science des matériaux, la médecine biologique, l'inspection industrielle et d'autres domaines.
fonction
Observations microtopographiques: balayage de la surface de l'échantillon par un faisceau d'électrons à haute énergie, collecte d'électrons secondaires, électrons rétrodiffusés et autres signaux pour générer des images haute résolution qui peuvent observer la topographie et la structure de la surface à l'échelle nanométrique.
Analyse élémentaire: les rayons X caractéristiques de l'excitation déterminent l'espèce et le contenu des éléments dans les microrégions de la surface de l'échantillon à l'aide d'une analyse de distribution d'énergie, ce qui permet une analyse qualitative et semi - quantitative.
Analyse synchrone en temps réel: l'imagerie est effectuée de manière synchrone avec l'acquisition de spectre d'énergie, ce qui permet d'obtenir des informations sur la distribution des éléments, le contenu et d'autres informations en temps réel tout en observant la topographie microscopique, évitant le processus fastidieux de l'équipement traditionnel "Imagerie d'abord, puis Composition analytique de l'équipement".
Présentation visuelle intuitive: la distribution des éléments est transformée en une carte couleur par une technique d'imagerie pseudo - couleur superposée à une carte de topographie SEM qui montre visuellement les lois de distribution spatiale des différents éléments dans l'échantillon.
Détection précise: la vitesse de balayage est rapide (certains appareils sont équipés d'une bande passante d'acquisition de signal de 10m), prend en charge la reconnaissance d'éléments au niveau du pixel unique, peut localiser avec précision les éléments traces / traces, l'erreur d'analyse quantitative est faible et le degré d'automatisation des opérations est élevé, les débutants peuvent également entrer rapidement en main.
Large applicabilité de l'échantillon: compatible avec de nombreux types de métaux, céramiques, matériaux de batterie, revêtements, substances molles, échantillons biologiques, etc., certains équipements prennent en charge le mode de vide faible, peut réduire l'effet de charge de l'échantillon isolé, pas besoin de faire des échantillons complexes.
Scène d'application
Science des matériaux et nanotechnologie: analyse de la ségrégation élémentaire des alliages métalliques, uniformité de la composition des matériaux céramiques, état de dispersion des nanoparticules et composition élémentaire, soutien à la recherche et au développement de nouveaux matériaux et optimisation des performances.
Industrie de l'électronique et des semi - conducteurs: détection des défauts de topographie de surface des puces, des circuits intégrés, analyse de la pureté de la composition des lignes de jonction semi - conductrices, identification des éléments impuretés dans les matériaux d'emballage.
Domaine des batteries et des nouvelles énergies: observation de la distribution élémentaire des matériaux d'électrode positive / négative des batteries au lithium (par exemple, électrode négative en silicium - carbone, électrode positive riche en nickel), analyse des variations de composition de l'interface électrolyte - électrode et optimisation des performances de la batterie.
Contrôle de la qualité industrielle: identifier la pureté matérielle des produits métalliques (tels que les bagues, les pièces en alliage), détecter l'épaisseur du revêtement et l'uniformité de la composition, vérifier la corrosion de la surface du matériau, l'inclusion et d'autres défauts.
Géologie et minéralogie: analyse de la microstructure et de la composition élémentaire des roches et des minéraux, identification des phases minérales à l'état de traces, aide à l'exploration des ressources minérales et à la recherche géologique.
Domaine biologique: observation des ultrastructures cellulaires avec la topographie de surface des Biomatériaux, analyse de la distribution des éléments dans les échantillons biologiques.