Table droite mécanique série cftca

Table droite mécanique série cftcaPrésentation:

La plate - forme mécanique de moteur linéaire de la série cftca de la technologie géocentrique - XY est la plate - forme de positionnement de précision tout - en - un de XY pour la précision de positionnement à l'échelle nanométrique, l'entraînement de moteur linéaire, l'utilisation du rail de rouleau croisé de précision, a d'excellentes performances dynamiques et la précision de positionnement, à vide jusqu'à la fréquence peut atteindre plus de 100hz. La série cftca adopte une conception industrielle exceptionnelle, une conception extérieure et des dimensions géométriques très raisonnables, la planéité et la rectitude de la course complète cftca - 150xy sont inférieures à ± 2 μm, la taille creuse de sécurité peut atteindre 40 mm * 40 mm; La planéité et la rectitude de la course complète cftca - 250xy sont inférieures à ± 4 μm et la taille creuse de sécurité peut atteindre 50 mm * 50 mm est un composant clé dans le domaine de la détection de mesure optique.

La plate - forme de la série cftca a une structure délicate et compacte, mais a une forte capacité d'entraînement, la vitesse de l'arbre supérieur 1000mm / s, l'accélération à vide peut atteindre 1G. Configuration de l'amplificateur linéaire, avec l'environnement de laboratoire d'isolation vibratoire, la stabilité in situ de la plate - forme creuse de la série cftca 3nm, le minimum de pas peut être inférieur à 5NM, en raison de ses propriétés creuses, il est principalement utilisé dans la détection de mesure bifaciale, le traitement et l'observation d'échantillons biologiques, la mesure de l'épaisseur du film et de l'encre et d'autres domaines industriels nécessitant une précision de positionnement à l'échelle nanométrique et une conception creuse

Stabilité en position de la plate - forme de la série cftca et test de pas minimal

Table droite mécanique série cftcaRemarque :

(1) après l'étalonnage 2D personnalisé, l'orthogonalité peut atteindre 5 arc sec;

(2) Adaptation - rétroaction as, configuration de l'amplificateur linéaire;

(3) À vide, l'amplificateur doit être configuré avec la puissance correspondante;

(4) La position du point d'essai par défaut est de 25 mm au - dessus du comptoir, l'indicateur d'axe unique et l'indicateur de performance du système multi - axes se rapportent à la charge réelle et à la position du point de travail;

(5) d'autres courses peuvent être personnalisées (par exemple: course 350mm * 350mm).