Table de mouvement de détection de disque

Table de mouvement de détection de disqueEst la plate - forme de positionnement de précision tout - en - un xyzt 4 axes, XYZ utilise un entraînement par moteur linéaire, sélectionne un rail de guidage à rouleaux croisés de précision, possède d'excellentes performances et une précision de positionnement, la fréquence de coupure à vide de l'axe XY peut atteindre plus de 120 Hz, a une bonne stabilité de vitesse, teste l'erreur de position du segment homogène Cube - 4 avec la fréquence d'échantillonnage de l'interféromètre 5K au - dessus du comptoir superposé 4 axes, chaque 0,5 mm de position suit dynamiquement l'erreur std. L'écart - type est inférieur à 50 nm. La fréquence de coupure à vide de L'axe Z peut atteindre plus de L'arbre Theta est équipé d'un moteur rotatif à entraînement direct avec rail de guidage circulaire et grille qui combine une vitesse de rotation élevée et une grande précision. De plus, l'axe Theta est doté d'une conception dissimulée qui permet au cube - 4 d'avoir une faible hauteur globale et de bénéficier d'une meilleure précision de positionnement dans les applications réelles.

En outre, l'axe Z peut être incrémenté de 100 μm en 30 MS et arrondi à ± 50 nm. Cube - 4 est une précision statique point à point, tout en ayant une précision dynamique très importante, peut s'adapter aux applications de balayage de détection biologique ou de disque exigeant des erreurs dynamiques strictes, l'axe Z peut être ajusté en temps réel et à grande vitesse en fonction de la hauteur de la distance de travail du capteur, résolvant les problèmes de contrôle de mouvement des clients.

Test de performance dynamique de la plate - forme à quatre axes de la série Cube - 4

Test dynamique de la fréquence d'échantillonnage de l'interféromètre 5K: la position du segment homocinétique XY suit l'erreur, moins de 50 nm par écart - type STD de 0,5 mm

Cube - série 4 plate - forme à quatre axes test pas à pas minimum

Étape de l'axe Z de 100 μm, nivellement à ± 50 nm en 30 MS

Table de mouvement de détection de disqueRemarque

1° mesurée parallèlement ou perpendiculairement à la direction du coin;

(2) Essai à vide;

(3) sous la force dans la direction de l'axe;

(4) Adaptation - rétroaction as, configuration de l'amplificateur linéaire;

(5) La position du point d'essai par défaut est de 25 mm au - dessus du comptoir, l'indicateur d'un axe, l'indicateur de performance du système multi - axes est lié à la charge réelle et à la position du point de travail;

(6) d'autres itinéraires peuvent être personnalisés.