Unité de rectification de classe EP

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Vue d'ensemble

L'unité de rectification de classe EP est l'équipement de base pour la production de gaz spéciaux électroniques, purifié par rectification de précision, de sorte que la pureté du gaz peut atteindre plus de 99999%, répondre aux besoins des semi - conducteurs

Détails du produit

I. définitions de base et scénarios d'application

L'unité de rectification de classe EP, Electronic pure, est un équipement de purification de gaz de haute précision spécialement conçu pour l'industrie électronique. Il passe par un processus de rectification multiple et précis qui élimine les impuretés traces (telles que l'humidité, les ions métalliques, les hydrocarbures, etc.) du gaz, ce qui conduit finalement à une pureté du gaz supérieure à 99999% (5n) et à une pureté de 99999% (6N) pouvant être atteinte dans certains scénarios.

Il est principalement utilisé dans la fabrication de puces semi - conductrices, la production de cellules photovoltaïques, le traitement de composants électroniques et d'autres domaines, fournissant des gaz spéciaux électroniques de haute pureté (tels que l'hydrogène, l'oxygène, l'ammoniac, etc.) pour la gravure, le dépôt et d'autres processus clés, affectant directement la performance et la performance du produit.

II. Principe de fonctionnement de base

Basé sur le principe de rectification de la « différence de point d'ébullition de différentes substances», combiné aux exigences strictes de la production de qualité électronique, le processus est divisé en trois étapes:

Phase de prétraitement: le gaz brut est d'abord filtré, séché et d'autres prétraitements pour éliminer la plupart des particules solides et de l'humidité et éviter le blocage ou la pollution de l'équipement ultérieur.
Phase de rectification de précision: le gaz prétraité entre dans une colonne de rectification spéciale à l'intérieur de laquelle la surface de contact gaz - liquide est augmentée par un plateau ou un garnissage. En utilisant un cycle de chauffage en pied de colonne et de condensation en tête, les composants volatils du gaz (gaz cible) sont séparés à plusieurs reprises des composants volatils difficiles (impuretés), augmentant progressivement la pureté.
Phase de post - purification: le gaz sortant de la tête de la colonne de rectification est ensuite purifié par adsorption, séparation membranaire et autres purifications secondaires, réduisant encore la teneur en impuretés traces et atteignant finalement la norme de classe EP.

Iii. Caractéristiques techniques clés

Matériaux spéciaux: pour répondre aux besoins de purification, les composants de l'unité de rectification de classe EP en contact avec le gaz (tels que la colonne de rectification, les tuyaux, les vannes) sont en acier inoxydable 316L ou Hastelloy, et les parois internes sont polies électrolytiquement (polissage EP), réduisant l'adsorption et la dissolution des impuretés.
Précision de contrôle: équipé de capteurs de température, de pression et de débit de haute précision avec système de contrôle automatique, il peut ajuster les paramètres de rectification en temps réel (tels que le contrôle de la différence de température dans la colonne à ± 0,1 ℃), assurant une pureté stable.
Conception à très faible fuite: avec une structure scellée et une technologie de détection de fuite par spectrométrie de masse à l'hélium, le taux de fuite est contrôlé en dessous de 1 × 10 ⁻pa ⁹m³ / s, empêchant l'infiltration d'impuretés extérieures.

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