GSL - 1800x - ZF - am système de revêtement évaporatif continu à plusieurs Chambres

Introduction au produit

GSL - 1800x - ZF - am système de revêtement évaporatif continu à plusieurs ChambresIl s'agit d'un appareil de revêtement par évaporation à vide élevé qui peut être alimenté en continu, principalement composé de deux parties de la Chambre de transfert et de la Chambre de revêtement par évaporation, le support de substrat peut réaliser un mouvement de va - et - vient dans la Chambre de transfert et la Chambre de pulvérisation, contrôlé par un moteur FM, fonctionnant automatiquement en synchronisation, et la position de va - et - vient et la vitesse de mouvement peuvent être réglées, les deux chambres ont une fonction de positionnement qui peut réaliser le réarmement de l'origine. Particulièrement adapté pour le dépôt à la vapeur de films métalliques plus sensibles à l'oxygène (tels que ti, Al, au, etc.) et de matières organiques de petites molécules. Cette machine est équipée de 4 bateaux chauffants de placage à la vapeur, chaque bateau chauffant peut effectuer le placage à la vapeur indépendamment, au - dessus du bateau chauffant il y a un volet rotatif, lorsque l'un des bateaux chauffants effectue le placage à la vapeur, le volet masque les trois autres bateaux en tungstène pour empêcher la contamination mutuelle entre les matériaux de placage à la vapeur. Si vous modifiez la configuration partielle, vous pouvez également réaliser le revêtement par évaporation des matériaux organiques, vous pouvez répondre aux exigences de recherche en matière de dispositifs lumineux et de cellules solaires organiques, c'est un équipement expérimental idéal et rentable pour le revêtement. Le fond de la cavité de l'évaporateur GSL - 1800x - zf4 est équipé de 5 électrodes refroidies à l'eau qui protègent efficacement la température de l'électrode contre la fusion due à une température trop élevée pendant le travail, endommageant ainsi l'électrode. La machine adopte une chambre métallique avec un degré de vide élevé, le degré de vide peut atteindre 5,0 × 10^-7torr， La table d'échantillon peut chauffer l'échantillon, la température de chauffage est la température ambiante - 500 ℃, est l'équipement pour effectuer le revêtement évaporatif sous vide élevé.

Caractéristiques principales

• Composé de deux grandes parties de la Chambre de transfert et de la Chambre de revêtement par évaporation, il permet un revêtement par évaporation rapide et continue de l'échantillon entrant.

• Les unités de contrôle du vide sont toutes réunies dans un boîtier de contrôle.

• Avec un contrôleur de courant de placage à la vapeur indépendant, il est facile et rapide à utiliser.

• La cavité à vide est équipée de 1 vanne de soutirage latérale kf40 (directement connectée à la pompe mécanique de l'étage avant pour améliorer l'efficacité), 1 vanne d'obturation cf150 (directement connectée à la pompe moléculaire), 1 bride kf16 (jauge de résistance installée), 6 brides cf35 (1 jauge d'ionisation installée, 1 électrode à 2 noyaux installée, 1 épaisseur de film installée) 3 pièces de rechange.

• Equipé de 5 électrodes refroidies à l'eau au fond de la cavité, il peut supporter 4 bateaux chauffants de placage à la vapeur.

• La table d'échantillon est montée sur le dessus de la cavité.

• Une jauge d'épaisseur de film à haute résolution peut être installée à l'intérieur de la cavité avec une résolution de mesure d'épaisseur de film (aluminium) de 0,1 Å.

• La machine de refroidissement par eau à circulation peut être utilisée.

Paramètres techniques