VTC - 600gc - am système de revêtement par pulvérisation magnétique multichambre continu

Introduction au produit

VTC - 600gc - am système de revêtement par pulvérisation magnétique multichambre continuEst le nouveau développement indépendant et le développement de l'équipement de revêtement, principalement composé de deux parties de la Chambre de transfert et de la Chambre de revêtement de pulvérisation, le support de substrat peut réaliser un mouvement alternatif dans la Chambre de transfert et la Chambre de pulvérisation, contrôlé par le moteur FM, fonctionnement automatique synchronisé, et La position alternative et la vitesse de mouvement peuvent être réglées, les deux chambres ont une fonction de positionnement, peut réaliser la Réinitialisation de l'origine. Il peut être utilisé pour la préparation d'un film ferroélectrique monocouche ou multicouche, d'un film conducteur, d'un film d'alliage, d'un film semi - conducteur, d'un film céramique, d'un film diélectrique, d'un film optique, d'un film d'oxyde, d'un film dur, d'un film de polytétrafluoroéthylène, etc.VTC - 600gc - am système de revêtement par pulvérisation magnétique multichambre continuEn option avec plusieurs pistolets cibles, alimentation RF assortie pour le revêtement de pulvérisation de cibles non conductrices, alimentation DC assortie pour le revêtement de pulvérisation de matériaux conducteurs. Par rapport aux appareils similaires, il est non seulement largement utilisé, mais a l'avantage d'uriner en volume pour le fonctionnement, c'est un appareil idéal pour la préparation de films de matériaux en laboratoire, en particulier pour la recherche en laboratoire sur les électrolytes solides et OLED, etc.

Caractéristiques principales

• Composé de deux grandes parties de la Chambre de transfert et de la Chambre de revêtement par pulvérisation, il permet un revêtement par pulvérisation rapide et continu de l'échantillon entrant.

• En option avec plusieurs pistolets cibles, une alimentation RF complémentaire pour le revêtement par pulvérisation de cibles non conductrices, une alimentation DC complémentaire pour le revêtement par pulvérisation de matériaux conducteurs (le pistolet cible peut être commuté à volonté selon les besoins du client).

• Une grande variété de films peuvent être préparés, avec une large gamme d'applications.

• Petite taille, facile à utiliser.

• Conception modulaire de la machine entière, Chambre de transfert, chambre à vide, Groupe de pompe à vide, conception divisée de puissance de contrôle, peut être ajustée en fonction des besoins réels de l'utilisateur.

• L'alimentation peut être sélectionnée en fonction des besoins réels de l'utilisateur, peut contrôler plusieurs pistolets cibles avec une seule alimentation, ou peut contrôler plusieurs pistolets cibles avec une seule alimentation.

Paramètres techniques