Viseur de tensionDétecteur de stress interne

avantage

√ réaliser des mesures instantanées de contrainte basées sur un modèle de mesure de contrainte biréfringent, montrant la distribution bidimensionnelle des contraintes pseudo - colorimétrie

√ avec double chemin optique de détection télécentrique, haute précision de mesure de retard de phase

√ plusieurs lentilles en option selon différentes exigences de champ de vision de mesure

√ plateau d'échantillon personnalisé, adapté aux différentes spécifications Wafer Batch test

Objets applicables

Convient pour trois générations de plaquettes de composés, plaquettes de verre, composants optiques de précisionDétection de contraintes internes (cristaux plats, prismes, lamelles, lentilles, etc.)

Domaines d'application

Orienté vers la production de plaquettes de composés, l'usinage optique de précision et d'autres industries

Principe de détection

√ détection de la distribution interne des contraintes dans le matériau de la plaquette basée sur l'effet de biréfringence des contraintes lumineuses polarisées. Lorsque le matériau cristallin est dû à un manque interneLa dépression en présence de la concentration de contrainte entraînera un effet de biréfringence de contrainte, la lumière polarisée à travers elle aura lieu lorsque la modulation de l'état de polarisation, en mesurant le vecteur de Stokes de la lumière transmise peut extrapoler la quantité de retard de contrainte du matériau, afin d'obtenir la distribution des contraintes dans le matériau;

√ détection synchrone intégrée de champ noir de défaut de surface de disque et mesure dimensionnelle.

Cas mesurés

Tension VisionneurSpécifications techniques