Système de dépôt de couche atomique en poudre ALD

Modèle: at - 200MPlus（PlasmaAmélioré+ dépôt de couche atomique thermique) et

Paramètres techniques :

·Taille (L * w * h): 35.5 * 38.1 * 56.8cm

·Revêtement en poudre facultatif (capacité jusqu'à ~ 10cm ^ 3)

·Des échantillons de 2 pouces × 2 pouces × 3 pouces ou deux disques de 2 pouces peuvent être placés (mandrin personnalisable et notre option de revêtement en poudre)

·3 ports de précurseur (1 MFC, 2 réservoirs),6 ports optionnels(jusqu'à 2 MFC, 4 cuves) avec ligne de traçage thermique jusqu'à 150°c (kit HT jusqu'à 180°C)

·Avec plasma cathodique creux (13.56rf, 80W)

·Boîtier de précurseur ventilé

·ALD à impulsion rapide résistant aux hautes températuresValves,Equipé d'un MFC ultra - rapide pour purge de gaz inerte intégrée - de série

·Chambre entièrement en acier inoxydable,Plage de température jusqu'à 300 ℃

·Couverture élevée possible en mode de réaction statique

·Écran de 5 pouces avec contrôle PLC intégré

·Mises à jour logicielles à vie incluses

·1 年保Réparation

Options: pompe à vide, 4 ports, générateur d'ozone (at - 03), chauffe - bouteille, QCM, Télécommande PC, précurseur ALD, boîte à gants, kit HT (précurseur à 180°C), mousseur, pulvérisateur de poudre, mandrin chauffant (à 450°c)

Caractéristiques de l'équipement:

1. Dépôt de couche atomique ALD de paillasse avec une petite empreinte;

2. Type thermique et fonction de renforcement plasma évolutive;

3. Peut choisir la fonction d'emballage de poudre, particulièrement adaptée aux clients dans le domaine de la recherche de batterie;

4. Le volume peut être directement mis dans la boîte à gants pour fonctionner, particulièrement adapté aux clients dans le domaine de la recherche sur les batteries;

5. L'installation d'opération est extrêmement simple, commode pour différentes personnes dans le laboratoire pour actionner l'expérience.

Domaines d'application:

Applications particulièrement recommandées dans le domaine de l'énergie

1. Applications dans le domaine des batteries lithium - ion

Dépôt de couche atomique(ALD) a d'énormes avantages et des perspectives d'application dans l'enveloppe de film mince de Nanoscale des nanostructures en raison de son dépôt conforme et de ses caractéristiques de contrôle d'épaisseur de film simples et précises. De nombreuses études ont montré que l'utilisation d'ALD pour envelopper le matériau d'électrode à l'échelle nanométrique peut modifier efficacement le matériau de la batterie et améliorer les performances de la batterie. En plus de cela, ALD peut également être utilisé pour synthétiser des électrodes positives, négatives et des matériaux électrolytiques solides pour la préparation de batteries lithium - ion.

2. Applications ALD dans le domaine des cellules solaires

Les applications de la technologie ALD dans le domaine des cellules solaires comprennent principalement: la préparation de photoélectrodes nanostructurées; ② passivation de la modification de surface de l'électrode; ③ sensibilisation de la surface de l'électrode par des points quantiques ou des nanoparticules métalliques; ④ régulation de la bande d'énergie pour les cellules solaires sensibles aux colorants et les cellules solaires à couche mince.

3. Applications ALD dans le domaine des supercondensateurs

La technologie ALD peut être utilisée non seulement pour préparer des matériaux actifs d'électrode de capacité spécifique élevée, mais également pour préparer des nanostructures, stabiliser et améliorer les performances des matériaux d'électrode, jouant un rôle important dans le domaine des supercondensateurs de haute capacité et de haute stabilité.Le rôle.

4. Applications ALD dans le domaine des piles à combustible

ALD a un large éventail d'applications dans le domaine des piles à combustible: un catalyseur hautement actif adapté aux piles à combustible peut être obtenu en ajustant la composition du catalyseur métallique (par exemple, les nanoparticules bimétalliques), la taille des nanoparticules métalliques; ② dépôt de particules métalliques sur des nanostructures pour préparer l'anode de la pile à combustible; ③ préparer un électrolyte solide haute performance pour réduire la température de fonctionnement de la pile à combustible; ④ la formation d'une couche de protection à la surface de l'électrode améliore la stabilité et les performances de la batterie.

5. ALD applications dans le domaine de la décomposition photoélectrochimique de l'eau

La technologie ALD, en raison de ses propriétés de croissance, permet non seulement de préparer une couche photoactive, mais également de déposer une couche d'amélioration des performances ou une couche de stabilisation sur la photoélectrode, résolvant certains des problèmes difficiles affectant le domaine de la décomposition de l'eau par les cellules photoélectrochimiques.