Système thermoélectrique liquide in situ à miroir électrique à balayage

Notre avantage

Haute résolution

Processus de micro - usinage MEMS, de sorte que l'épaisseur du film de nitrure de silicium dans la zone de fenêtre de la puce électrochimiqueLa plus fine jusqu'à 10NMRéduit considérablement l'interférence avec le faisceau d'électrons, l'environnement en phase liquide peut atteindre une résolution à l'échelle nanométrique.

高安全性

1. D'autres marques communes de tiges d'échantillon de liquide sur le marché, en raison des contraintes de leur propre système de conception de puce de piscine liquide, ne peut être poussé par la pression énorme générée par la pompe à liquide pour faire circuler le liquide à grand débit à travers la table d'échantillon et la zone périphérique de la puce, il y a un risque de sécurité de fuite massive de liquide. Son liquide est principalement basé sur l'effet de diffusion dans le nanopore au milieu de la puce, il n'y a pas de contrôle réel du débit dans la fenêtre d'observation de la puce.

2. Utilisant la technologie de contrôle de nanofluidique, le contrôle différentiel de fluide par le système de micro - Contrôle piézoélectrique pour réaliser le transport Nano - amélioré de microfluidique,Système de contrôle nanofluidique in situEt la quantité redondante de liquide dans la tige d'échantillon est seulement de niveau microlitre, garantissant efficacement la sécurité du miroir électrique.

3. L'utilisation de la technologie d'étanchéité de contact de surface de film de polymère, comparée à l'étanchéité d'anneau, augmente la zone de contact d'étanchéité et réduit efficacement le risque de fuite.

4. Avec la technologie de revêtement à ultra haute température, le film de nitrure de silicium dans la zone de la fenêtre de la puce présente des avantages tels que la résistance à haute température et à faible contrainte, la résistance à la pression, la résistance à la corrosion et à l'irradiation.

Excellentes propriétés thermiques

Correction de la thermométrie infrarouge de haute précision, mesure et étalonnage du champ thermique à haute résolution à l'échelle du micron pour assurer la précision de la température.

3. La méthode de contrôle de la température ultra - haute fréquence, exclut l'influence du fil et de la résistance de contact, mesure de la température et des paramètres électriques plus précis.

3. L'utilisation d'un fil chauffant en métal précieux de haute stabilité (matériau non céramique), à la fois un matériau conducteur thermique et un matériau sensible à la chaleur, sa résistance électrique a une bonne relation linéaire avec la température, la zone de chauffage couvre toute la zone d'observation, le réchauffement et le refroidissement sont rapides, le champ thermique est stable et uniforme, l'oscillation de la température ≤ ± 0,1 ℃ dans l'état stable.

4. La méthode de contrôle de la température utilisant le contrôle dynamique à haute fréquence de boucle fermée et la température ambiante de rétroaction, le contrôle de rétroaction à haute fréquence élimine l'erreur et la précision de contrôle de la température ± 0,01 ℃.

5. Conception de puce de MEMS de chauffage COMPOSITE MULTI - étapes, contrôle la diffusion de la chaleur du processus de chauffage, inhibe grandement la dérive thermique du processus de réchauffement, assure l'observation efficace de l'expérience.

Logiciels intelligents et équipements automatisés

1. La séparation homme - machine, le logiciel contrôle à distance les conditions expérimentales, enregistre automatiquement les données détaillées de l'expérience tout au long du processus, ce qui facilite le résumé et la révision.

2. Courbe de réchauffement du Programme personnalisé. Il peut définir plus de 10 étapes du programme de réchauffement, le temps de maintien de la température, etc., tout en contrôlant manuellement la température cible et le temps, dans le processus de réchauffement du programme, il est nécessaire de changer de température et de maintenir la température, peut ajuster instantanément le protocole expérimental et améliorer l'efficacité de l'expérience.

Programme d'étalonnage de l'échelle de température absolue intégrée, chaque puce peut changer de température à chaque fois en fonction de la valeur de la résistance, refaire l'ajustement et la correction de la courbe, assurer la précision de la température de mesure, garantir la reproductibilité et la fiabilité des expériences de chauffage.

4. L'ensemble du processus est équipé d'équipements d'automatisation de précision pour aider les opérations manuelles et améliorer l'efficacité expérimentale.

Avantages de l'équipe

Le chef d'équipe participe à la recherche et au développement et perfectionne la méthode au début du développement de la phase liquide in situ.

2. Conception indépendante de la puce in situ, maîtrise du processus de base de la puce, possède plusieurs puces patent.

3. L'équipe de plus de 20 personnes est engagée dans la recherche en phase liquide in situ et peut fournir un soutien technique expérimental in situ dans plusieurs directions de recherche.

Paramètres techniques

Cas d'application

Dissolution électrochimique

Dépôt électrochimique