Carbure de silicium sic longcrystal Equipment

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Carbure de silicium sic longcrystal Equipment $R $n est un équipement professionnel pour la croissance de cristaux de SiC de haute qualité, la synthèse de matières premières de haute pureté, le traitement thermique des cristaux à haute température. Il est largement utilisé dans les domaines de la croissance des cristaux de SiC, de la synthèse des matières premières, du traitement thermique des cristaux. Peut faire pousser des lingots de 6 / 8 pouces.

Détails du produit

Carbure de silicium sic longcrystal Equipment

Est la réalisation de haute qualitéSiCÉquipement professionnel pour la croissance des cristaux, la synthèse des matières premières de haute pureté, le traitement thermique des cristaux à haute température. Largement utilisé dansSiCDomaine de la croissance des cristaux, synthèse des matières premières, traitement thermique des cristaux. Peut faire pousser des lingots de 6 / 8 pouces.

Carbure de silicium sic longcrystal Equipment

碳化硅SiC长晶设备

Le système de cavité de four à vide est plus limité à la valeur du vide de fond atteint ≤ 5.0e-5pa, boost rate ≤ 3pa / 12h, assurer la stabilité de la croissance des cristaux

. système intelligent de croissance et de surveillance pour une personnalisation précise de plusieurs processus, optimisation des processus, surveillance en temps réel de l'ensemble du processus à cristaux longs, archivage visuel des données

. nouvelle conception de bobine de chauffage par induction, améliorant efficacement l'uniformité et la stabilité du chauffage par champ thermique
1st système d'auto - test PIM dans l'industrie, réduction efficacePerte de temps dans le processus
. système de refroidissement par eau stable et fiable, réalisation de voies navigablesSurveillance en temps réel de la température de la ligne, du débit, garantissant la stabilité du champ de température ambiante de croissance
. peut produire un substrat de carbure de silicium de classe P de 6 pouces, MICROTUBESDensité des défauts & lt; 0,5 / CM², résistivité jusqu'à 0015 - 00280

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