TMC active air isolation Vibration nivellement système

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TMC active air isolation Vibration Leveling System, peps II s'appuie sur le peps (Precision Electronic Positioning System) de TMC et l'améliore. En ajoutant un nouveau contrôleur numérique, le peps II est plus facile à utiliser et offre plus de fonctionnalités, ainsi qu'une interface utilisateur améliorée.

Détails du produit

TMC active air isolation Vibration nivellement systèmePEPS II

Le peps II s'appuie sur le peps (Precision Electronic Positioning System) de TMC et l'améliore. En ajoutant un nouveau contrôleur numérique, le peps II est plus facile à utiliser et offre plus de fonctionnalités, ainsi qu'une interface utilisateur améliorée. PEPS II est un système de contrôle de hauteur numérique sans contact pour les systèmes d'isolation vibratoire pneumatique TMC. Un tel système comprend généralement une vanne mécanique de hauteur et une liaison mécanique de détection de hauteur. Ses applications comprennent des équipements de fabrication de semi - conducteurs nécessitant des temps de stabilisation améliorés et des rendements accrus, ainsi que des environnements de laboratoire de précision nécessitant des performances sonores optimales et une stabilité de la plate - forme.

TMC主动空气隔振调平系统

TMC active air isolation Vibration nivellement systèmePEPS IIcaractéristique

● contrôle numérique, convivialInterface LCD

● pourContrôle de hauteur électropneumatique sans contact pour systèmes d'isolation vibratoire gimbal piston, CSP et maxdamp

●Reproductibilité de position de l'axe Z: 10 microns

● Amélioration de l'isolation vibratoire grâce à l'élimination des points de contact de levier du système de contrôle de hauteur mécanique traditionnel

● La fonction d'alimentation avant pneumatique minimiseRéaction de l'axe Z au mouvement de la plate - forme x - y

● peut être ajusté pour une stabilisation rapide parMouvement causé par la plate - forme x - y

● facultatif »La fonction "VX" intègre un capteur inertiel pour amortir activement la résonance de l'isolateur vertical

● compatible avec "soft Dock Station". Permet de charger sans installation de mouvement/ désinstaller le wafer

● Valve électronique proportionnée. Les « interrupteurs» ou les vannes électroniques traditionnelles ne produisent pas de bruit pulsé

● tuyau d'échappement pour le traitement propre des gaz d'échappement

● contrôle d'ancrage logique et état

spécification

Dimensions physiques	Contrôleur peps II 1,72 pouces (43,7 mm) de hauteur x 8,0 pouces (203 mm) de largeur x 9,4 pouces (240 mm) de profondeur
poids	Contrôleur peps II: environ 1,2 kg (3,0 LB)
Environnement (voir en 61010 - 1: 1993, EN 61010-1/A2 : 1995)	Pour usage intérieur seulement, jusqu'à 2 000 m d'altitude (6 560 pieds) Plage de température maximale admissible: 5 °C à 35 °C Humidité maximale admissible: 80% en dessous de 31°c, linéairement réduite à 50% HR à 40°C Tolérance de tension d'alimentation principale: 85 VAC - 240 vac Catégorie de surtension: 2 Classe de pollution (CEI 664): 2 Exigences de ventilation: dégagement de 25 mm des deux côtés, dégagement supérieur et inférieur de 0 mm
Exigences de puissance	Plage de tension d'entrée d'alimentation: 90 - 230 vac Plage de fréquence d'entrée: 50 - 60 Hz
PEPSII interface utilisateur (panneau avant)	Interrupteur d'alimentation 4 boutons de menu Affichage LCD 20 x 2 caractères 2 prises de diagnostic (type BNC) Indicateur d'état tricolore Port USB
PEPSII interface (panneau arrière)	Entrée d'alimentation ca avec filtre EMI 1 port d'entrée d'air pour tuyaux de diamètre extérieur de 1 / 4 pouce 1 sortie d'air (échappement) Port enfichable pour tuyaux de diamètre extérieur de 1 / 4 pouce 4 prises d'air pour tuyaux de diamètre extérieur de 1 / 4 Po (une pour chaque isolateur de vibration) Entrée mâle DB - 25 - sortie et prise de courant 1 x Phoenix 0,2 "pas 6 broches vert connecteur (capteur de proximité verticale) 1 x Phoenix 3,5 mm pas 6 broches noir connecteur (capteur de proximité horizontale) Goujons filetés à la Terre (filetage n ° 10 - 32) Prises DB - 25 F: 1 entrée numérique, 3 interfaces pour capteurs géophones (option "- VX") Prise DB - 25 F: 1 entrée numérique, 3 capteurs de proximité de sortie de courant (en option)
PEPS II Spécifications de performance	Entrée analogique (unipolaire): 8 x 12 bits (16 bits avec suréchantillonnage), 0. . 3,0 V pleine échelle Entrée analogique (feed - forward): 5 x 12 bits (16 bits avec suréchantillonnage), ± 9 V pleine échelle Entrée analogique (unipolaire) Protection: + 5 volts, - 0,5 V limite Entrée analogique (feed forward) Protection: ± 15 volts limite Sortie analogique: 4 x 12 bits (16 bits avec échantillonnage), 0. . 3,0 V pleine échelle Sortie analogique (facultatif): 8 x 16 bits, 0. . 3,0 V pleine échelle Protection de sortie analogique: protection illimitée contre les courts - circuits, + 5 volts Tension d'entrée numérique nominale: 0. .. + 3,3 V, + 5 V tolérance (+ 5 volts limite) Note de sortie numérique: 0. .. + 3.3 V， Jusqu'à 20 ma Protection E / s numérique: + 5 volts, - 0,5 volt limite Alimentation externe disponible: + 5 VDC, max 2,0 a; + 15 VDC, max 1,0 a (max 20 watts) Port de communication: USB, affiché comme RS - 232 sur PC Processeur: arm7tdmi / 41,78 MHz Taux de boucle de contrôle: 100 Hz - 2,0 kHz Capteur de proximité: 3 verticaux, (3 horizontaux en option) vortex, sortie Namur 0 - 20 ma Capteur de vitesse - géophone (option "- VX"): 3 verticaux, sortie de courant
Spécifications pneumatiques	Haute stabilité à long terme: ± 50 microns Stabilité d'inclinaison à long terme: ± 50 microradians Servovalve: 4 x servovalve proportionnelle d'orifice de flux variable bidirectionnel Technologie de valve: pure catégorie A Pression d'entrée maximale: 120 PSI ou 8,3 bar ou 830 kPa Consommation d'air nominale: 60 litres standard / MIN (2 pieds cubes standard / min) Exigences en matière d'air: air propre et sec, filtré à 20 microns ou plus Sécurité d'échec: l'isolateur de vibration dégonfle en cas de panne de courant ou de panne de courant Raccords pneumatiques: raccords rapides « One touch » pour tuyaux de diamètre extérieur de 1 / 4 Po

Performance

TMC主动空气隔振调平系统

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