Amortisseur de vibrations TMC active air

Amortisseur d'air actif TMC, Electro-Damp Est le premier système d'isolation vibratoire active disponible dans le commerce spécialement conçu pour améliorer le débit, la résolution et le rendement dans les applications de fabrication de semi - conducteurs. Electro - damp II est une refonte complète * du système d'origine, avec l'ajout de la modularité, de la commande numérique, de l'alimentation avant, des actionneurs haute force / haut jeu et de plusieurs interfaces utilisateur numériques spécialement conçues pour les applications OEM telles que la microlithographie, les outils de détection et de métrologie.

TMCSuppression active des vibrations de l'airappareilÉlectro-Humidité II

Electro-Damp ® Est le premier système d'isolation vibratoire active disponible dans le commerce spécialement conçu pour améliorer le débit, la résolution et le rendement dans les applications de fabrication de semi - conducteurs. Electro - damp II est une refonte complète * du système d'origine, avec l'ajout de la modularité, de la commande numérique, de l'alimentation avant, des actionneurs haute force / haut jeu et de plusieurs interfaces utilisateur numériques spécialement conçues pour les applications OEM telles que la microlithographie, les outils de détection et de métrologie.

Les outils de fabrication de semi - conducteurs imposent des exigences contradictoires à leurs systèmes d'isolation vibratoire. Pour faire face au bruit du sol, le système doit être suffisamment souple pour filtrer efficacement les vibrations du sol et les empêcher d'atteindre la surface d'isolation vibratoire. Dans le même temps, le système doit être suffisamment rigide pour faire face à la force de la table de travail, de sorte que le mouvement de la table crée un déplacement minimal de la surface d'isolation vibratoire et peut être stabilisé rapidement.

En plus d'adopter l'inertie, l'amortissement actif de rétroaction,L'Electro - damp II utilise également des informations pour améliorer encore la réponse du système. Le feed - forward obtient des informations sur la position et l'accélération de la table du Contrôleur de la table, puis traite ces données pour fournir un entraînement en force à la charge utile, ce qui réduit considérablement le mouvement de la charge utile causé par la table. Le système peut lire l'information d'alimentation en amont de manière numérique, en tant que signal analogique bipolaire, ou en lisant la sortie du codeur orthogonal. Le contrôleur numérique DC - 2000 peut également utiliser le mode de test de banc pour ajuster automatiquement les paramètres nécessaires au feedback. Cela permet un réglage rapide et facile lors de l'installation initiale ou après un changement de charge utile.

La conception modulaire de l'Electro - damp II permet d'utiliser le système seul avec des Servovalves électroniques (pour les applications lourdes à faible accélération telles que les CMM), uniquement avec des entraînements électromagnétiques (pour les tables plus légères utilisant des accélérations élevées) ou en combinaison avec les deux (pour les applications exigeantes).

TMCSuppression active des vibrations de l'airappareilÉlectro-Humidité IIcaractéristique

● Système d'atténuation active des vibrations à six degrés de liberté

● contrôle électronique de la hauteur sans contact

● contrôleur numérique

● L'entrée feed forward corrige le mouvement de la charge utile causé par la table de travail

● l'actionneur électromagnétique à haute force peut être fourni séparément ou intégré dans le système

● réduit le temps de stabilisation des mouvements de charge utile et des mouvements causés par la table de travail

● Augmentation du débit, de la résolution et du rendement

● La conception modulaire permet à l'utilisateur * de définir une unité ou un composant complet pourIntégration OEM

● Ajustez automatiquement les paramètres de feedback pour réduire les paramètres

spécification

Description de l'application

Electro-Damp®

DansPrecitechMesure 3 axes (XYZ) avec peps II - VX sur une machine freeform l ultra - précise