VTC - 110pax système de revêtement rotatif automatique à haut débit

Environnement cavité

Teneur en eau: < 1 ppm (20 °C, 1 atm)
Teneur en oxygène: < 1 ppm (20 °C, 1 atm)

Salle de niveau avant

Conçu avec deux chambres de niveau avant
Grande taille de la Chambre de classe avant: Φ360mm X 600mml
Petite taille de la Chambre d'étage avant: Φ150 mm x 300mm (l)

Gaz de travail

Gaz de travail: n2, AR, he et autres gaz inertes
Gaz de contrôle: air comprimé ou gaz inerte
Gaz réducteur: mélange de gaz de travail et d'hydrogène (H2).
Si le système de purification n'a qu'une fonction d'élimination de l'eau, le gaz réducteur est le même que le gaz de travail

Système de purification de gaz

Matériau désoxygéné BASF allemand, matériau absorbant l'eau uop américain, contrôle automatique du processus de régénération du système de purification, fonction de désoxygénation automatique de l'eau; La pureté du gaz peut être maintenue à long terme et en continu: eau < 1 ppm, oxygène < 1 ppm.

Système de contrôle de pression

La pression d'air de cavité peut être commandée automatiquement par l'écran tactile de PLC
La précision de contrôle est: ± 1pa
Peut également être commandé manuellement via un interrupteur à pied

Système de filtration

Les extrémités d'admission et d'échappement sont équipées de filtres
La précision de filtration est: 0,3 μm

Système de contrôle

Siemens écran tactile couleur (6 "), système de contrôle PLC, bilingue chinois - anglais commutable
Sonde d'eau: avec la marque américaine GE, 0 ~ 1000ppm écran tactile, précision 0,1 PPM
Transmetteur d'oxygène: adopte la marque américaine AII, 0 ~ 1000ppm écran tactile, précision 0,1 PPM
Capteur de pression: avec la marque américaine Setra, - 2500 ~ 2500pa écran tactile, précision ± 1pa

gant

Caoutchouc synthétique butyle de marque American North

Système d'éclairage

Configuration de tubes fluorescents de marque Philips

Dimensions de l'instrument

2300mm (L) x 1500mm (L) x 1900mm (H)

Précautions

Lorsque le gaz circule à l'intérieur de la boîte à gants, vous devez garantir que le tuyau du système de circulation est fluide et ne peut pas être obstrué
Pas de gaz corrosifs dans la boîte à gants
Pour régénérer régulièrement le boîtier
Le taux de désoxygénation de la boîte à gants doit être déterminé en fonction du gaz de travail entrant, le désoxygénation de N2 doit être meilleure que celle de ar entrant
Si la boîte à gants contient des gaz corrosifs (tels que l'électrolyte LiPF6), le flacon contenant le liquide doit être bien scellé lorsqu'il n'est pas utilisé.

Paramètres de la machine de revêtement rotative

1, cavité (matériel): polypropylène

2, disque porteur d'échantillon (ventouse): ventouse en polypropylène Φ19mm, Φ60mm, φ100㎜ un chacun

3, mode de fonctionnement: 12 groupes de programmes peuvent être stockés; Chaque ensemble de programmes contient 6 phases opérationnelles

4, vitesse de film enduit: 20rpm - 12500rpm efficace, résolution de vitesse 1rpm / s

5, taux d'augmentation et de diminution: plage de réglage du taux d'augmentation et de diminution par segment: 20 RPM - 15 000 RPM / s

6, temps de revêtement de film: chaque période plage de temps: 0 - 3000s

7, stabilité de vitesse de rotation: ± 1%

Système d'agitation liquide

Equipé de quatre pompes à agitation magnétique chauffables

Température de chauffage RT - 100℃

Vitesse d'agitation magnétique: 0 - 2000rpm

Système d'injection

Le pistolet à pipette se déplace automatiquement de haut en bas à gauche

Déplacement horizontal course effective: 500mm Course

Vitesse de déplacement horizontale: 1 ~ 1800mm / MIN (entier).

Déplacement vertical de haut en bas course effective: 250mm;

Vitesse de déplacement de haut en bas: 1 ~ 200mm / MIN (entier)

Equipé de quatre injecteurs automatiques de haute précision

Précision d'injection: ± 1 μl

Incréments: 1 μl

Système de séchage de film

1, puissance de chauffage: 3500w

2, température de chauffage: ≤500℃

3, précision de contrôle de température: ± 1℃

4, plaque chauffante: 350mm × 240mm