VTC - 1hd - zf2 machine de revêtement par évaporation par Pulvérisation magnétron à vide élevé

Modèle du produit

VTC-1HD-ZF2

Paramètres principaux

1, chambre à vide: φ324x330

Vide extrême 6.0x10-4pa (avec pompe turbomoléculaire domestique FF - 150 litres + pompe mécanique)

Taux de fuite: 2.0x10-10pa.m3 / s

Le matériau est soudé en acier inoxydable 304 avec un traitement électrochimique de polissage de surface.

L'étanchéité à l'activité est scellée par un anneau d'étanchéité en caoutchouc, l'étanchéité à l'inactivité est scellée par un anneau d'étanchéité en cuivre.

La transmission de puissance utilise un couplage magnétique.

Chambre à vide une cible magnétron, un ensemble d'électrodes d'évaporation (deux), 2 stations de four à source de faisceau (1 four à source de faisceau en standard).

1 jeu de débitmètres (un groupe d'argon) avec fenêtre d'observation en verre φ150, une interface à bride c35 est également réservée.

2, tête de cible de pulvérisation: 2 pouces (φ 50,8 mm)

Degré de vide de fonctionnement: 10pa ~ 0.2pa

Utilisation de la cible: > 35% (cible en cuivre standard de 3 mm, vide de la surface de la cible de 0,5 Pa)

MAX功率： 240W (refroidissement complet)

Tension d'isolation: > 2000v (alimentation 500W DC assortie 1pcs)

3, évaporation de résistance:

Tension de sortie évaporée: AC 0 - 8V réglable en continu

Courant de vaporisation limite 200A

Puissance d'évaporation limite & lt; 1,6 kW

La température n'est pas contrôlable, pas mesurable.

4, four de source: capacité de creuset: 3cc

Température de chauffage: température ambiante - 700°c

La température de chauffage est mesurable, réglable et contrôlable.

Précision du contrôle de la température: ± 0,5°c

Livré de série avec creuset en quartz, avec baffle, thermocouple.

Puissance d'alimentation: 500W, 36V

5, table d'échantillon: φ120

Contrôle de la température: température ambiante - 500 ° C

Nombre de Tours: 1 - 20rpm

La table d'échantillon peut être levée et abaissée manuellement, limite supérieure de course réglable: 50mm

6, eq - tm106 - 1 Épaisseur de film

1) alimentation: DC 5V (± 10%), courant Max 400ma

2) Résolution de fréquence: ± 0.03hz

3) Résolution d'épaisseur de film: 00136Å (aluminium)

4) Précision de l'épaisseur du film: ± 0,5% en fonction des conditions du processus, en particulier la position du capteur, la contrainte du matériau, la température et la densité.

5) vitesse de mesure: 100ms - 1S / Time, peut être réglé

6) plage de mesure: 500 000 Å (aluminium)

7) Cristal de capteur Standard: 6mhz

8) interface informatique: Interface série RS - 232 / 485 (débit en bauds 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400 réglable, bits de données: 8, bits d'arrêt: 1, contrôle: aucun)

9) sortie analogique: résolution de 8 bits, sortie de modulation de largeur d'impulsion PWM (collecteur ouvert ou sortie interne 5V)

10) environnement de travail: Température 0 - 50 ℃, humidité 5% - 85% RH, il ne doit pas y avoir de billes d'eau de condensation

11) Dimension extérieure: 90mm × 50mm × 18mm

7, l'équipement est standard avec 1 unité de refroidisseur d'eau (modèle kj5000), le client possède son propre refroidisseur d'eau et de l'eau désionisée ou purifiée.

8, entrée d'alimentation de la machine entière: AC220V / 50hz. Puissance < 3,5 kW.

9, spécifications du produit:

Dimensions: environ 1300mm × 660mm × 1200mm; poids: environ 160 kg