Bienvenue client !

Adhésion

Aide

Fruit Instrument Technology (Shanghai) Co., Ltd
Fabricant sur mesure

Produits principaux :

chimique 17>Produits

Disque chauffant de disque / module (personnalisé)

Modèle
Nature du fabricant
producteurs
Catégorie de produit
Lieu d'origine
Vue d'ensemble
Disque chauffant de plaquette, module chauffant de plaquette (personnalisé) est très important dans le processus de fabrication de semi - conducteur, en particulier dans certains processus clés tels que le recuit de plaquette, le collage, l'encollage, la gravure, le dépôt en phase vapeur, etc., il peut fournir un environnement de champ thermique stable et une température uniforme précise du disque, assurant les exigences de chauffage de la plaquette dans diverses zones de température, permettant ainsi la fabrication et la recherche et le développement de dispositifs semi - conducteurs.
Détails du produit

Les produits liés à la technologie de contrôle de la température, à la technologie mécanique in situ, etc., tels que le système de chauffage à plaques, le four de recuit rapide, la Chambre d'essai haute et basse température, etc., peuvent être personnalisés pour les clients.


Fruit instrument Wafer module de chauffage:Dans le processus de fabrication de semi - conducteurs est très important, en particulier dans certains processus clés, tels que le recuit de la plaquette, le collage, l'encollage, la gravure, le dépôt en phase vapeur, etc., il peut fournir un environnement de champ thermique stable et une température uniforme précise du disque, assurer les exigences de chauffage de la plaquette dans diverses zones de température, permettant ainsi la fabrication et la recherche et le développement de dispositifs semi - conducteurs.

晶圆加热盘/模组(定制)

Module de chauffage de disque (personnalisé)Caractéristiques:

• plage de température: RT ~ 600 ℃

• stabilité de la température: ± 0,1 ℃

• Matériel: alliage d'aluminium, acier inoxydable, alliage invar, etc.

• Contrôle de température de haute précision

• logiciel professionnel de contrôle de température

• Soutien à la personnalisation


paramètres

modèle

Module de chauffage de disque (personnalisé)

taille

2 / 4 / 6 / 8 / 10 / 12 pouces

Plage de température

RT ~ 600 ℃

Stabilité de la température

±0.1℃

matière

Alliage d'aluminium, acier inoxydable, alliage invar, etc.

Planéité

≤10um, Jusqu'à 3um, et matériel lié

Environnement applicable

Atmosphère / vide

Système de refroidissement

Option: refroidissement par eau, refroidissement par air, etc.

Pression de collage

Option: 0 ~ 100kn