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Courriel
jinwen2022@126.com
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Téléphone
19542994910
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Adresse
689, rue Riverside, Suzhou, bureau 301, Broadway
Fruit Instrument Technology (Shanghai) Co., Ltd
jinwen2022@126.com
19542994910
689, rue Riverside, Suzhou, bureau 301, Broadway
Les produits liés à la technologie de contrôle de la température, à la technologie mécanique in situ, etc., tels que le système de chauffage à plaques, le four de recuit rapide, la Chambre d'essai haute et basse température, etc., peuvent être personnalisés pour les clients.
Fruit instrument Wafer module de chauffage:Dans le processus de fabrication de semi - conducteurs est très important, en particulier dans certains processus clés, tels que le recuit de la plaquette, le collage, l'encollage, la gravure, le dépôt en phase vapeur, etc., il peut fournir un environnement de champ thermique stable et une température uniforme précise du disque, assurer les exigences de chauffage de la plaquette dans diverses zones de température, permettant ainsi la fabrication et la recherche et le développement de dispositifs semi - conducteurs.

Module de chauffage de disque (personnalisé)Caractéristiques:
• plage de température: RT ~ 600 ℃
• stabilité de la température: ± 0,1 ℃
• Matériel: alliage d'aluminium, acier inoxydable, alliage invar, etc.
• Contrôle de température de haute précision
• logiciel professionnel de contrôle de température
• Soutien à la personnalisation
paramètres
modèle |
Module de chauffage de disque (personnalisé) |
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taille |
2 / 4 / 6 / 8 / 10 / 12 pouces |
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Plage de température |
RT ~ 600 ℃ |
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Stabilité de la température |
±0.1℃ |
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matière |
Alliage d'aluminium, acier inoxydable, alliage invar, etc. |
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Planéité |
≤10um, Jusqu'à 3um, et matériel lié |
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Environnement applicable |
Atmosphère / vide |
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Système de refroidissement |
Option: refroidissement par eau, refroidissement par air, etc. |
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Pression de collage |
Option: 0 ~ 100kn |
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