Spectromètre à fluorescence X dispersif en longueur d'onde

Spectromètre de fluorescence X dispersif en longueur d'onde WDA - 3650Pour l'évaluation des films minces tout en effectuant une analyse non destructive et sans contact de l'épaisseur et de la composition des différents films minces.

Il s'agit d'un spectromètre à fluorescence X dispersif en longueur d'onde (WD - XRF) qui peut analyser simultanément l'épaisseur et la composition de divers films minces sur des plaquettes allant jusqu'à ~ 200 mm de manière non destructive et sans contact. Xyθz Drive Sample table (méthode) permet d'analyser avec précision divers films métalliques et d'éviter l'influence des rayons diffractés. Le tube à rayons X haute puissance de 4 kW permet une analyse de haute précision des éléments ultra - légers, tels que la mesure des éléments traces et l'analyse du bore pour les films bpsg. Les robots de transport C - à - C sont également pris en charge (en option). Il est équipé d'un calibrage automatique (contrôle quotidien entièrement automatique et fonction de correction d'intensité).

◆ soutenir l'analyse de la concentration et de la composition des éléments traces

Convient à une variété d'éléments allant des éléments légers aux éléments lourds: 4 oui ~ 92u

◆Détecteur de bore haute sensibilité ad - Bore

Nous développons constamment de nouveaux systèmes optiques, tels que l'amélioration des capacités d'analyse du bore, afin d'améliorer la précision et la stabilité des analyses. En outre, le mécanisme de refroidissement et le mécanisme de stabilisation du degré de vide sont des équipements standard stables.

◆L'étage d'entraînement X - y - θ

La table d'échantillons pilotée par X - y - θ et le programme de réglage de la direction de mesure peuvent mesurer avec précision l'épaisseur du film et la distribution de la composition sur toute la plaquette. Le film ferroélectrique n'est pas non plus affecté par le faisceau diffracté.

◆Application:

・Dispositifs semi - conducteurs bpsg, SiO2 - Quad 3n4

・silicium polycristallin dopé (B, P, N, as), wsix

・ Al-Cu, TiW, TiN, TaN, PZT, BST et SBT

・MRAM

・金属膜 W, Mo, Ti, Co, Ni, Al, Cu, Ir, Pt, Ru

・磁盘 CoCrTa, CoCrPt et DLC

・NiP

Disque magnétique TB - FECO

・tête magnétique GMR, TMR

◆Large gamme de goniomètres fixes

Nous fournissons le goniomètre fixe le plus approprié en fonction de l'épaisseur de la membrane et de la structure de la membrane. Nous préparons également un système optique dédié qui peut analyser le film mince de wsix sur une plaquette de silicium.

◆Fonction de gestion quotidienne entièrement automatisée Calibration automatique

Pour obtenir des valeurs analytiques précises, l'instrument doit être correctement calibré. Pour ce faire, il est nécessaire de mesurer régulièrement la plaquette de contrôle et la plaquette de réglage Pha en tant que plaquette de gestion afin de maintenir l'état de santé de l'appareil. Ce travail d'étalonnage de routine est automatisé et réduit la charge de travail de l'opérateur. C'est la fonction autocal.

◆Compatible avec la livraison automatique C - to - C

En plus de la cassette ouverte, smif POD est également pris en charge. Compatible avec les disques jusqu'à 200mm. De plus, il est possible de communiquer avec l'hôte dans le cadre du sec et de prendre en charge divers formats CIM / fa.

◆Conception compacte et économe en énergie

Conception compacte sous la surface de plancher de l'unité principale 1m2. L'utilisation de transformateurs sans huile rend également les auxiliaires plus compacts et économes en énergie.

• Évaluer également l'épaisseur et la composition du film

• Convient à tous les types de films

• Prend en charge les disques Wafer et Medium de moins de 200 mm

• Haute performance analytique, précision et stabilité

• La table d'échantillon xyθz - Drive obtenue pour des résultats XRF précis

• Analyse de bore haute sensibilité (avec canal ad bore)

• Calibrage automatique avec chargeur automatique C à C en option

• Transformateur sans huile X - ray Generator

• Consommation électrique 23% inférieure à celle des modèles précédents

Spécifications du produit: