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Wuxi technologie du Centre de la terre
Catégories de produits
Wuxi Earth Center Technology Co., Ltd
Système de mouvement personnalisé pour table basculante série ztt - V2
NégociableMise à jour sur05/06
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- producteurs
- Catégorie de produit
- Lieu d'origine
Vue d'ensemble
Le système de mouvement personnalisé de la table de basculement de la série ztt - V2 est une plate - forme de positionnement de précision monobloc à trois axes de levage vertical et de nivellement horizontal, utilisant un entraînement par moteur linéaire et un couplage à charnière sphérique de précision avec une précision de micro - mouvement et des performances dynamiques très excellentes. Petite hauteur globale, dimensions fines, rigidité élevée, capacité de charge jusqu'à 10 kg, compatible avec une utilisation dans un environnement de salle blanche. $R $N $R $nztt - V2, tout en ayant une précision de positionnement statique point à point, possède également une précision dynamique exceptionnelle et peut s'adapter à des applications telles que la détection de plaquettes, l'alignement optique, la détection de panneaux ou la lithographie sans masque exigeant des erreurs de micro - mouvement et de suivi dynamique strictes.
Détails du produit
Système de mouvement personnalisé pour table basculante série ztt - V2Est la plate - forme de positionnement de précision à trois axes de levage vertical et de nivellement horizontal, en utilisant un entraînement par moteur linéaire, en utilisant un couplage de charnière sphérique de précision, avec une très excellente précision de micro - mouvement et des performances dynamiques. Petite hauteur globale, dimensions fines, rigidité élevée, capacité de charge jusqu'à 10 kg, compatible avec une utilisation dans un environnement de salle blanche.
Système de mouvement personnalisé pour table basculante série ztt - V2Tout en ayant la précision de positionnement statique point à point, il a également une précision dynamique très importante, peut s'adapter aux exigences strictes de détection de disque, d'alignement optique, de détection de panneau ou de lithographie sans masque pour les erreurs de micro - mouvement et de suivi dynamique, en fonction de la hauteur de mise au point du capteur pour ajuster la hauteur et l'attitude angulaire en temps réel, résoudre les problèmes de contrôle de mouvement des clients dans plusieurs directions.
Plate - forme ztt - V2 pas minimumTest
Z étape vers 20nm
Stabilité en position de chaque axe
| Nom de l'axe | Z | θx | Thy |
| Itinéraires valides \ \ Travel | 5 mm | 2° | 2° |
| Précision de positionnement \ \ Accuracy | ± 0,3 μm | NA | NA |
| Précision de positionnement répétitif \ \ bi - repeatability | ± 0,1 μm | ±0,1 seconde d'arc | ±0,1 seconde d'arc |
| Vitesse maximale (1) | 20 mm/s | NA | NA |
| Accélération maximale (1) | 1 gramme | NA | NA |
| Étape minimale incrémentale (2) | 20 nm | 0,05 seconde d'arc | 0,05 seconde d'arc |
| Charge maximale \ \ capacité de chargement | 10 kilogrammes | ||
| Poids de la plate - forme \ stage mass | 8 kilogrammes | ||
| Matériaux de la plate - forme \ \ Material | aluminium | ||
Remarque :
(1) À vide, l'amplificateur doit être configuré avec la puissance correspondante;
(2) La position du point d'essai par défaut est de 25 mm au - dessus du comptoir.
Remarque :
1) Unité: mm;
(2) le connecteur du câble n'est pas affiché;
(3) Le dessin 3D complet peut être téléchargé.
Options de configuration du produit
| Famille de produits | Taille du comptoir | retour |
| ZTT-V2 | -200 | - AS |
Options de feedback
| - AS | Entrée de volume analogique sinusoïdale vpp 1 volt |
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