AE RF alimentation Cesar 0230 2mhz 3000w

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Vue d'ensemble

AE RF Power Cesar 0230 2mhz 3000w RF Generator est un générateur RF avec d'excellentes performances et une fiabilité éprouvée sur le terrain depuis longtemps.

Détails du produit

AE RF alimentation Cesar 0230 2mhz 3000wgénérateur RFEst un excellent générateur RF éprouvé sur le terrain avec des performances fiables et une capacité de sortie stable, démontrant une excellente stabilité du processus et une capacité de contrôle de sortie dans la vérification en machine réelle. Ce type d'alimentation RF permet un contrôle précis de la sortie RF, largement utilisé dans la pulvérisation de semi - conducteurs, CVD、PECVD、 Gravure et d'autres processus, et a d'excellentes performances. Les alimentations RF de la série Cesar ont une excellente capacité de formation de film, dans le processus de film mince semi - conducteur, ont l'avantage d'une vitesse de formation de film rapide, d'une efficacité élevée et d'une bonne qualité, dans une certaine mesure, elles peuvent améliorer l'efficacité de la ligne de production et Le rendement du produit fini, avec une très large gamme d'applications.

AE RF alimentation Cesar 0230 2mhz 3000wgénérateur RFSpécifications des paramètres:

Marque de l'appareil: AE (Advanced Energy)

Modèle: Cesar 0230

Entrée d'alimentation AC: 3 Phase ~ + PE, 200V ~, 50 / 60Hz, 20.0a

Sortie RF RF: 3000W, ~ 615v, 2mhz

Interface de communication: RS - 232, Port utilisateur, Matchbox, diagnostic

Dissipation de chaleur de l'équipement: refroidissement par air + refroidissement par eau dissipation de chaleur

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